판매용 중고 MIDAS MDA-12FA #9382380
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MIDAS MDA-12FA는 회로 구성 요소 패턴을 실리콘 포토 마스크로 전송하는 데 사용되는 마스크 정렬 자입니다. 높은 정확도가 필요한 마스크 메이킹 어플리케이션을 위해 특별히 설계되었습니다. 장비는 하드웨어 및 소프트웨어 구성 요소로 구성됩니다. 하드웨어에는 광학 현미경 시스템, 고해상도 LCD 모니터, X-Y 선형 포지셔너 및 저소음, 고해상도 웨이퍼 스테이지가 포함됩니다. 소프트웨어 구성 요소에는 자동 및 수동 패턴 인식 알고리즘, Windows 기반 그래픽 사용자 인터페이스 (GUI), 종합 자동 노출 제어 (AEC) 장치 및 마스크 설계 모듈이 포함됩니다. 이 장치는 12 배의 미세한 확대 및 빠른 패턴 인식을 제공합니다. 정렬 정확도는 0.04 미크론이고 스테이지 안정성은 0.Yes01 미크론입니다. 전체 해상도 이미지 대비는 0.14이고 전체 회색 음영은 6비트입니다. 자동 웨이퍼 위치 수정 알고리즘이 장치에 포함되어 들어오는 웨이퍼 (wafer) 의 잘못된 정렬을 줄입니다. 이 기계는 photolithography (노출 및 개발 용) 및 이미징 응용 프로그램 (데이터 저장용) 과 모두 호환되도록 설계되었습니다. 양수 및 음의 photomask 응용 프로그램을 모두 지원하며 최대 1000dpi 해상도의 대형 이미지를 인쇄할 수 있습니다. 이 장치는 자동 차단 및 비상 정지와 같은 여러 안전 기능으로 설계되었습니다. 소프트웨어 도구는 복잡한 패턴을 보고, 편집하고, 분석하는 기능을 제공합니다. 사용자는 해상도, 크기, 패턴 회전, 이미지 격자, 클립 크기 등을 선택하여 프로그래밍할 수 있습니다. 패턴 위치를 최적화하는 데 사용할 수 있는 측정, 확대/축소, 회전, 스트레치, 수정 등의 다양한 도구가 있습니다. 마스크 설계 모듈은 결함을 줄이기 위해 노출 매개 변수를 최적화 할 수 있습니다. MDA-12FA (MDA-12FA) 는 다용도, 경제성, 사용이 간편하여 높은 정확성과 유연성을 필요로 하는 마스크 메이커 어플리케이션을 위한 완벽한 선택입니다. 그것은 최고의 성능을 제공하여 photolithography 전문가에게 귀중한 도구입니다.
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