판매용 중고 MELLES GRIOT 58-805 #140303
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ID: 140303
Mobile aligner workstation
Vibration dampened sealed hole optical breadboard, 36"x 36"
Nanomax-TX stage
Melles/Thor DRV001 micro adjusters
17AMR001 rotary mount
(2) STC-400 camera
Advanced Illumination CS400 constant current source
Sony PVM-137 monitor
Sony PVM-14N2U monitor
Control cabinet contains:
P/N 17MMR001 control chassis
P/N 17MST001 stepper motor controller
P/N 17MIO001 digital I/O controller
P/N 17MNA001 Nanotrak controller
P/N 17MMR001 control chassis
(2) P/N 17MPZ001 piezoelectric controller with feedback
(3) P/N 17MST001 stepper motor controller
Control computer and CRT monitor.
MELLES GRIOT 58-805는 영화, 호일 마스크 웨이퍼, 마스크 및 웨이퍼의 비접촉 이미지를 빠르게 전달하도록 설계된 Mask Aligner입니다. 이 Mask Aligner는 MELLES GRIOT Corporation에서 제조했으며 특허 기술을 기반으로합니다. 이 장치는보다 정확한 정렬을 위해 현미경과 유사한 광학 레이아웃을 사용합니다. 58-805는 MEMS 및 광전자 (optoelectronics) 에서 재료 연구에 이르기까지 다양한 응용 프로그램의 정밀도 및 프로세스 요구 사항을 충족시키기 위해 2 가지 노출 모드를 제공합니다. 등록 정확도를위한 긴 여행, 일대일 이미징 노출 모드가 0.2 m까지 있으며, 이로 인해 낮은 왜곡 등록이 가능합니다. 완전 자동 프로그래밍 가능 노출 모드는 단일 실행에서 더 큰 노출 정확도, 더 빠른 노출 시간, 최대 16 개의 노출 (exposure) 을 보장합니다. 이 [마스크 정렬] 은 정렬 장치 및 센서를 사용하여 웨이퍼, 기판 홀더 및 마스크를 정확하게 정렬합니다. 웨이퍼 부착은 자동이며 실행 시간은 빠릅니다. 정렬 및 초점 메커니즘은 수동으로 작동되며 0.2 jm x/y 및 0.1 jm z의 정확도를 갖습니다. 또한, 빠른 정렬 장비와 특허를받은 자동 초점 해제 시스템은 MELLES GRIOT 58-805의 기능입니다. 마스크 알리너 (Mask Aligner) 의 이미지 및 패턴 노출 장치에는 수은 짧은 호와 크세논 쇼트 아크 램프 조명 머신이 포함되어 있습니다. 광학 그룹에는 2 개의 램프의 2 개의 동시 활성화가 포함되며 공구에는 각 램프마다 하나씩 2 개의 노출 매개 변수가 있습니다. 두 램프의 최대 입력 전력은 175 와트이며, 에셋에는 0.15 ° m 초점 정확도를 위해 설계된 수동 및 전동 동력 초점 메커니즘이 있습니다. 58-805 Mask Aligner는 사용자의 상호 작용을 위해 PLC 기반, 컬러 터치 스크린 컨트롤러 및 소프트웨어를 사용합니다. 노출, 정렬, 초점 해제 및 노출 후 분석에 대한 처리 매개 변수는 모두 컨트롤러에 입력할 수 있습니다. 또한, 정밀도를 극대화하고 프로세스를 강화하기 위해 다양한 "센서 '가" 얼라이너' 에 부착된다. 전반적으로, MELLES GRIOT 58-805는 강력하고 효율적인 Mask Aligner이며, 웨이퍼와 마스크를 빠르고 정확하게 정렬 할 수 있으며, 또한 낮은 왜곡 등록, 자동 프로그래밍 가능 노출 모드 및 초점 제거 시스템과 같은 흥미로운 기능을 제공합니다. 이 최첨단 장치는 MEMS 및 광전자 (optoelectronics) 응용 프로그램에서 가장 일반적으로 사용되지만, 다른 다양한 응용 프로그램에도 적합합니다.
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