판매용 중고 Mark Aligner System #9007724
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ID: 9007724
웨이퍼 크기: 8"
Mask Aligner / Exposure Tool, up to 8"
Substrate Size: Round or square
Mask size: 3"x3" up to 10"x10"
Exposure System
Lamp power: 350W, 500W, 1000W, 2000W, 5000W
Intensity (8" field @ 365nm): 20mw/cm2 (1000W), 40mw/cm2 (2000W)
Uniformity: Better than ±5%
Resolution: Proximity mode 3.0μm, Contact mode <1.0μm
Exposure Modes: proximity, soft, hard, vacuum
Exposure Gap: 1-1500μm
Gap Adjustment resolution: 1μm
Alignment System
Alignment Accuracy: 0.5μm topside, 1.0μm backside
Alignment Gap: up to 1500μm
Alignment Range (X,Y): ±3mm
Alignment Range (Ø): ±3o
Mechanical Resolution: 0.1μm
Alignment Microscopes
Microscope Type: Dual zoom, CCD TV camera
Magnification: Approx. 30X - 210X
Illumination: Solid state LED
Cost of Ownership
Throughput: >100wph
MTBF: >1500 hours
MTTR: <4 hours
Uptime: >95%
Consumables
Vacuum: 25"HG
Nitrogen: 20 PSI
Power: 208V, 60Hz, 20A, 3-phase
UV Lamps.
마스크 정렬기 (Mark Aligner Equipment) 는 일반적으로 시스템이라고하며, 기판과 정렬되도록 photomask의 위치 지정 및 정렬에 사용되는 자동 반도체 제작 기계입니다. 광원, 이미징 Mark Aligner Unit 및 정렬 단계의 세 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 광원은 일반적으로 이미징 머신 (Imaging Machine) 용 이미지를 생성하기 위해 포토 마스크 (photomask) 와 기판을 비추는 UV 램프입니다. 이미지 표시 정렬 도구 (Image Mark Aligner Tool) 는 정렬 프로세스에 사용되는 두 개체의 고해상도 이미지 또는 뷰를 캡처합니다. 정렬 단계는 모터 제어 에셋 (motor driven Asset) 으로, 해당 이미지를 사용하여 오브젝트를 정확하고 정확하게 정렬합니다. 일반적으로 닫힌 루프 Mark Aligner Model (마크 알리그너 모델) 을 사용하여 잘못된 정렬을 적극적으로 감지하고 이를 수정합니다. 마스크 정렬 장치 장비는 구성 프로세스에서 집적 회로 (IC) 를 만드는 데 사용됩니다. 포토 마스크 (photomask) 는 집적 회로의 패턴을 포함하는 유리 플레이트로, 웨이퍼에 정확하게 배치되어야 합니다. 마스크 정렬자 마크 정렬 시스템 (Mark Aligner System) 은 웨이퍼 자체와 관련하여 포토마스크의 위치와 방향이 올바른지 확인하는 데 사용됩니다. 마스크 정렬기 (mask aligner) 는 후속 도량형 및 오버레이 측정에도 사용되어 IC 레이어가 정확하게 정렬되고 패턴화되었는지 확인합니다. 정확한 정렬을 달성하기 위해 Unit에는 자동 초점 (autofocus), 자동 자간 (autodrift) 및 자동 자간 (autotilt) 과 같은 여러 가지 자동 기능이 있습니다. 자동 초점 (Autofocus) 은 알고리즘을 사용하여 각 이미지의 초점을 감지한 다음, 정렬의 정확도를 최대화하도록 이미지를 적절히 조정합니다. 자동 그리프트 (Autodrift) 는 마스크가 정렬을 달성하기 위해 이동되는 경우에도 photomask 및 기판의 정렬을 유지하는 데 사용됩니다. 마지막으로, 오토 타일 트 (autotilt) 는 포토 마스크가 항상 기판에 대해 동일한 각도로 유지되도록 사용됩니다. 전반적으로 Mark Aligner Machine (Mark Aligner Machine) 은 정렬이 매우 정확하며 집적 회로 생산에서 고품질 제작 작업을 수행하는 데 중요합니다.
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