판매용 중고 KASPER / EATON / QUINTEL 2001 #9003961
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KASPER/EATON/QUINTEL 2001은 실리콘 웨이퍼, 반도체 웨이퍼 또는 유기 기판과 같은 다양한 기판에 submicron 기능의 패턴을 정확하게 배치하는 데 사용되는 micro-electro-mechanical system (MEMS) 마스크 정렬기입니다. 이 기계에는 매우 정밀한 구조를 생성할 때 두 개 이상의 부품 사이에 발생하는 정렬 (alignment) 작업에 유연성이 있는 6축 (6-axis) 기능이 있습니다. EATON 2001 마스크 정렬기는 크고 작은 광학의 조합을 사용하여 정확한 정렬을 달성합니다. 큰 "옵틱 '은 기판 에 있는" 패턴' 의 초기 정렬 에 사용 되고 작은 "옵틱 '은 더 세밀 한 정렬 과 등록 에 사용 된다. 광학은 회전 (rotation) 과 변환 (translation) 을 모두 사용하여 이미지를 정확하게 정렬하는 5축 모니터 메커니즘에 통합됩니다. 정렬자는 선 격자 배열, 점, 사각형, 사각형 및 기타 모양과 같은 다양한 종류의 이미지 패턴을 사용할 수 있습니다. 기계는 또한 매우 정확한 위치 피드백 장비를 갖추고 있습니다. 이 시스템은 패턴 정렬이 사양 내에 있는지 확인합니다. 위치 피드백 장치 (position feedback unit) 의 정확도는 스테이지의 정확도와 형성할 패턴의 크기에 따라 달라집니다. 패턴의 크기와 정렬 (alignment) 의 정확도는 응용 프로그램에 따라 조정할 수 있습니다. KASPER 2001 Mask Aligner에는 또한 매우 강력한 소프트웨어 패키지가 있으며, 이 패키지는 컴퓨터를 프로그래밍하고 제어하는 데 사용됩니다. 이 소프트웨어는 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 제공하여 시스템을 쉽게 작동하고 제어할 수 있습니다. 또한 이 소프트웨어는 통계 분석, 성능 보고서 (Performance Report) 및 그래픽 표현 (Graphical Representation) 을 제공하여 품질 관리 (Quality Control) 에 사용할 수 있으며 정렬 프로세스의 정확성을 향상시킵니다. 전반적으로 QUINTEL 2001 마스크 정렬기 (mask aligner) 는 다양한 기판에서 다양한 패턴을 정확하게 정렬해야 하는 프로젝트에 적합한 도구입니다. 강력한 소프트웨어와 정확한 포지션 피드백 머신 (position feedback machine) 을 통해, 매우 정밀한 구성 요소를 제작하는 데 이상적인 머신입니다.
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