판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MJB-55 #9229803

KARL SUSS/MICROTEC MJB-55 마스크 정렬기는 기판 및 웨이퍼의 정확하고 반복 가능한 석판 패턴화를 위한 정렬 도구입니다. 이 기계는 간단한 유지 관리 및 운영을 통해 프로그래밍 가능한 정밀 정렬 및 노출 기능을 제공합니다. MICROTEC MJB-55는 8 발의 최소 해상도 라인 폭과 서브 미콘 공간을 생성 할 수 있습니다. 최소 달성 가능한 오버레이 정확도는 -2 äm이며 매우 타이트한 정렬 정확도를 제공합니다. KARL SUSS MJB55는 고급 포토셀 빔 정렬 장비와 자동 제어 (Automated Control) 기능을 통해 빠른 속도로 패턴을 정밀하게 정렬합니다. 이 장치는 자체 포함되어 있으며 모든 구성 요소가 단일 기기에 통합되어 있습니다. 5 인치 조리개와 coverslips, 나이프 블레이드 및 트위저 스테이지, 디퓨저 박스 및 웨이퍼 홀더가 장착 된 진공 척이 장착되어 있습니다. MICROTEC MJB55의 광학 시스템은 2 개의 액체 냉각 중압 수은 증기 램프와 2 개의 Kohler 조명 단계로 구성됩니다. 빔-트랜스미시브 레티클 (beam-transmissive reticle) 은 머신에 쉽게 적재 된 진공 매거진에 보관됩니다. 정렬 마스크 서피스는 수평 스캔을 위한 노출 단계에 있습니다. KARL SUSS/MICROTEC MJB55는 레이저 에지 감지 및 브라이트필드 조명을 결합한 독점적 빔 투과 정렬 장치를 사용하여 정확하고 반복 가능한 패턴을 달성합니다. 이 장치는 스테이지 및 이미징 렌즈의 초점 제어를 위해 동력 Z축을 사용합니다. 노출은 에지 감지 및 등록을 위해 고품질 옵티컬 머신을 사용하여 모니터링됩니다. 통합 제어 메커니즘은 자동 및 반자동 작동을 가능하게합니다. MJB-55에는 근접 센서, 엔드 스톱 (End Stop) 및 밀폐형 카메라 (Shrouded Camera) 와 같은 다양한 안전 기능도 장착되어 있습니다. 이 기계는 손쉬운 터치스크린 인터페이스 (touch screen interface) 를 사용하여 설치와 작동을 효율적인 프로세스로 만듭니다. 정교한 디자인, 유연성, 사용자 친화적 인 운영을 통해 기판과 웨이퍼의 빠르고 정확한 패턴화를 위한 이상적인 도구입니다 (영문).