판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MJB-55 #9131891
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KARL SUSS/MICROTEC MJB-55는 웨이퍼 처리 기능을 갖춘 고정밀 5 축 마스크 정렬기입니다. 포토 마스크 패턴을 포토 esist 코팅 기판에 정확하게 전달하도록 설계되었습니다. MICROTEC MJB-55는 PC 제어 정밀 5 축 선형 및 회전 동작의 독특한 조합을 사용하여 기판에 패턴을 정확하게 전송하고 정렬 할 수 있습니다. 이 장비는 빠르고 정확한 패턴 전송 시간을 제공하도록 설계되었으며, 고속 리소그래피 (High Speed Lithography) 또는 빠른 프로토 타입 (Prototyping) 과 같은 마스크 프로세스에 이상적입니다. KARL SUSS MJB55는 최대 6 "기판을 수용 할 수 있으며 최대 160mm의 표준 x-y 단계를 제공합니다. 단일, 이중 또는 3 중 마스크 단계를 포함하여 여러 단계로 구성되며, 낮은 유지 보수가 필요한 높은 정확도 정렬을 위한 선형 서보 모터 (linear servo-motor) 및 인코더 (encoder) 기술이 사용됩니다. x-y-i-w 정렬 단계는 뛰어난 반복성과 함께 운영 유연성을 제공합니다. 또한, 0-50 zm의 초점/z 범위는 패턴 전달 프로세스 동안 안정적인 초점을 가능하게합니다. KARL SUSS MJB-55에는 다양한 프로세스를 지원하는 웨이퍼 크기 처리를위한 고속 스테이지가 장착되어 있습니다. 또한 와퍼 확장/팽창 및 온도 조절을 제공하여 정렬 및 노출 시간을 개선합니다. 웨이퍼 처리 액세서리는 스핀 코팅, 액체 처리 용 트로프, 습식 및 건조 처리, 솔 겔, PED, CMP 등과 같은 여러 기판 크기와 프로세스에 대해 구성 될 수 있습니다. 또한, 시스템은 통합 고해상도 이미징 정렬 장치 (High-Resolution Imaging Alignment Unit) 및 자동 초점 기능을 통해 실시간 정렬 및 노출이 가능합니다. 이를 통해 빠르고 정확한 패턴 전송과 최대 1m까지 정렬할 수 있습니다. 이 기계는 데이터 수집 도구 (Data Collection Tool) 와 연결되는 기능을 통해 운영 환경에 통합될 수 있습니다. Robot 통합 패키지는 마스크 제작자가 처리량을 최적화하고 클린 룸 공간을 보존하도록 도와줍니다. 또한 유지 보수가 불가능한 설계, 직관적인 자산 사용자 인터페이스 (user interface) 는 유지 관리 및 운영이 용이하므로 다양한 운영 애플리케이션에 적합합니다.
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