판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MJB-55 #293636565

ID: 293636565
Mask aligner Mercury short arc lamp, 350W.
KARL SUSS/MICROTEC MJB-55는 photolithography 프로세스에 사용되는 마스크 정렬 자입니다. 이 정렬 장치 는 "웨이퍼 '나 기타 기판 에 미세 구조 의 정밀 위치 를 맞추도록 설계 되었다. 연구자와 엔지니어가 매우 작은 집적회로 (integrated circuit) 와 미세 구조 (micructure) 를 정확하고 신뢰성이 높게 제작할 수 있습니다. 마스크 정렬기는 밝고 균일 한 광원을 포함하며, 이는 제논 아크 램프 (Xenon arc lamp) 와 할로겐 백라이트 (halogen backlight) 로 구성되어 투영 렌즈에 대한 조명을 제공하고 일관된 정렬 정확도를 보장합니다. 또한 다양한 필드 크기와 해상도를 제공하는 고급 광학 시스템 (Advanced Optics System) 을 통해 사용자는 더 높은 화면 비율 (Aspect-Ratio) 형상에서 더 높은 정확도 수준을 달성 할 수 있습니다. MICROTEC MJB-55는 배율 제어 (M-Control) 를 사용하여 자동으로 렌즈 배율을 조정하여 정렬 위치가 변경되더라도 해상도를 유지합니다. 이 기계의 엄격한 안전 기능은 최신 안전 표준을 준수합니다. 이 기능에는 광원 용 셔터 (shutter) 와 정전기 감소를위한 이온화 공기 시스템 (ionize air system) 을 포함하여 여러 층의 풍부한 환경 보호가 포함됩니다. X-Y 스테이지는 90, 180 및 360도의 제어 이동 범위로 직경이 최대 12 "인 대형 웨이퍼를 이동할 수 있습니다. Z축은 다이렉트 드라이브 모터 (direct drive motor) 와 통합되어 일관된 이동성과 정확성을 보장합니다. 위치 지정 정확성은 Y 및 Z 단계의 정확성을 추적하고 열 팽창으로 인한 오류 (error) 를 보완하는 인코더로 이루어집니다. KARL SUSS MJB55 는 정밀 구성 요소, 고급 소프트웨어 외에도 다양한 어플리케이션을 수용할 수 있는 유연성을 제공합니다. 이 기계는 최대 4 단계의 마스크를 정렬하여 다중 레벨 금속화 (multi-level metalization), 박막 (thin film) 및 유리 경사와 같은 프로세스에 사용할 수 있습니다. MJB-55 (MJB-55) 는 믿을 수 있는 고성능 마스크 정렬기로, 가장 작은 구성 요소까지 매우 정확하게 처리할 수 있습니다. 다양한 고급 기능과 옵션을 갖춘 이 조정기 (aligner) 는 다양하고 경제적인 솔루션으로, 반복 가능하고 안정적인 결과를 제공합니다.
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