판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MJB-4 #9395957
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판매
ID: 9395957
빈티지: 2011
Mask aligner
Non-functional parts:
Mercury lamp control room
Mercury lamp controller
Missing parts
Optical path lens
Microscope
24 V Power supply controller
Solenoid valve
2011 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC MJB-4는 전자 및 미세 기계 산업의 사진 석판 공정을 위해 설계된 마스크 정렬 자입니다. 장비는 2 축 시스템이며 접촉 마스크, 광학 리소그래피에 사용되는 투영 마스크, 마이크로 머치닝을위한 반 투명 리프트 오프 마스크 등 다양한 포토 마스크 (photomask) 를 처리 할 수 있습니다. 자동화된 플랫폼은 고정밀 4축 정렬 장치를 사용하여 정확하고, 정확하며, 반복 가능한 마스크 위치를 지정할 수 있습니다. 이렇게 하면 웨이퍼에 생성된 패턴의 정확도와 품질을 최적화할 수 있습니다. MICROTEC MJB4에는 고해상도 전송 CCD 카메라와 효율적인 조명 프로젝션 머신이 장착되어 있습니다. 이 90와트 단호 HID 헤드는 조명과 높은 처리량을 제공하며, 여러 가지 파장 프로파일 옵션에서 작업할 수 있습니다. 또한, 고급 전자 제품 (Advanced Electronics) 은 노출 시간이 항상 일관되고 기판의 패턴이 프로세스 중에 움직이지 않도록 보장합니다. 이 도구의 이미징 소프트웨어는 리소그래피 프로세스 (lithography process) 와 관련하여 매우 유용한 툴로서, 매개변수 입력, 레시피 생성, 정렬 설정, 데이터 로깅, 프로세스 결과에 그래픽 사용자 인터페이스를 쉽게 사용할 수 있습니다. 프로세스 문제를 해결하고 최적화하기 위해 프로세스 데이터 (예: 포커스, 노출 시간, 마스크 위치) 를 검색하기 위해 데이터 로그 (data log) 를 설정할 수도 있습니다. 또한, 소프트웨어는 각 개별 기판에 정렬 설정을 적절히 조정하기 위해 다양한 기판 크기를 인식 할 수 있습니다. (영문). KARL SUSS MJB 4는 또한 정밀 정렬을 위해 고정밀 스테이지 에셋 및 압전 모터 제어 (piezoelectric motor control) 기술을 사용하여 결과 패턴의 왜곡 위험을 더욱 줄입니다. 또한, 이 모델에는 웨이퍼 레벨 온도 제어 기술이 포함되어 있으며, 패턴 배치 정확도, 향상된 웨이퍼 평면도 및 고품질 인쇄가 가능합니다. 마지막으로, 장비는 안전 기능이 내장되어 있으며, 유해 재료를 사용할 때 사용자에게 안심할 수 있습니다. 이로 인해 KARL SUSS MJB 4는 현재 사진 촬영 작업을 시작하거나 개선하려는 사람들에게 이상적인 선택입니다. 사용자 친화적 인 운영 및 내장형 안전 프로토콜 (EMC) 을 통해 모든 실험실에 매우 유용한 기능을 추가할 수 있으며, 정확하고, 반복 가능하며, 고해상도 (High-Resolution) 기능을 통해 고품질 웨이퍼 패턴 (Wafer Pattern) 을 만들 수 있습니다.
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