판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MJB-4 #293751563

KARL SUSS/MICROTEC MJB-4는 MICROTEC에서 개발 한 마스크 정렬 자입니다. 균일하지 않은 기판을 위해 설계된 풀 필드, 고정밀 접촉 정렬 장비입니다. 정밀 이동 가능한 x/y 스테이지와 정렬 된 오브젝티브 렌즈로 구성되어 있으며, 리소그래피 작업 중 포토 esist의 정확한 마이크로 패턴 정렬이 가능합니다. 시스템에는 두 가지 주요 구성 요소 (마스터 브래킷과 정렬 목표 쌍) 가 있습니다. 마스터 브래킷 (master bracket) 은 기계식 클램프가있는 기판을 보유하며, 정렬 목표는 원래 정렬 된 석판화 레티클을 정확하게 정렬합니다. 기계식 클램프는 높은 클램핑 압력으로 인한 정렬 왜곡을 최소화하면서 안정성을 제공합니다. 목표에는 필요한 정렬 정확도를 제공하기 위해 정밀 조절 가능한 렌즈가 포함됩니다. MICROTEC MJB4의 정밀도는 독점 운동 단위를 사용하여 달성되며, 이는 조정 가능한 접선 힘 스프링 (tangential force springs) 에 의해 제어되는 극도로 평평하고 평행 한 표면 유리 플레이트로 구성됩니다. 압력 보상 기계의 정확성은 마이크로 패턴을 매우 정확하게 노출 할 수 있습니다. 정렬 목표에는 속도 의존 전자 초점 드라이브 (velocity dependent electronic focus drive) 가 장착되어 기판을 빠르고 정확하게 정렬 할 수 있습니다. KARL SUSS MJB 4는 풀 필드 노출 도구를 특징으로하여 큰 기판을 쉽게 노출 할 수 있습니다. 에셋은 x축과 y축에서 서브미크론 해상도 (submicron resolution) 가 가능하여 패턴을 정확하게 노출시킬 수 있습니다. 지원 고정장치 (support fixtures) 피팅은 모양과 크기, 재료 내용이 다른 기판에 대한 넓은 수용 범위를 제공합니다. 이 마스크 정렬기는 microelectronics, optoelectronics, 평면 패널 디스플레이 기술 및 기타 정밀 리소그래피 응용 프로그램과 관련된 조직에 이상적입니다. 탁월한 정확성과 반복 가능한 성능을 제공하며, 전체 (full-field) 노출 작업에서 최고 수준의 결과를 얻을 수 있습니다.