판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #9284673

KARL SUSS/MICROTEC MJB-3은 사진 해설의 기판을 정확하게 정렬하는 데 사용되는 최첨단 마스크 및 레티클 정렬기입니다. 이 고급 장비는 멀티센서 헤드 (multisensor head) 가 있는 이미징 컴퓨터를 사용하여 두 기판 사이의 정렬을 감지하고 작동시킵니다. MICROTEC MJB3는 15nm 이내의 차등 슬릿 측정을 달성 할 수 있으며, 이는 나노 미터 스케일 설계에서 사실상 완벽한 정렬을 가능하게합니다. 이 기계는 6 인치 ~ 12 인치 정사각형 크기의 다양한 기판 크기로 작동하도록 설계되었습니다. 진공 척 (vacuum chuck) 시스템은 부품을 안전하게 고정하고 CCD 카메라는 정렬 과정 전반에 걸쳐 위치를 모니터링합니다. 향상된 정확성과 해상도를 위해, 이미징 장치는 특허를 획득한 초정밀 Fine Align 기술을 사용합니다. 정렬을 감지하고 달성하기 위해 KARL SUSS MJB 3은 4 개의 모서리 센서, 4 개의 최고 참조 센서 및 4 개의 모서리 참조 센서가있는 특수 헤드를 사용합니다. 이 "센서 '배열 은 고해상도 광학" 센서' 와 결합 하여 높은 정확도 로 빠른 정렬 을 한다. KARL SUSS/MICROTEC MJB3에는 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 가 있어 엔지니어가 작업과 관련된 매개변수를 쉽게 보고 조정할 수 있습니다. 여기에는 정교한 이미지 분석, 이미지 캡처 및 레이블 지정, 실시간 자동 조정, 사용 로깅 등의 기능이 포함됩니다. 또한, 시스템은 사용자 정의 매개 변수와 디바이스 기록을 추적, 저장하므로 성공적인 작업을 쉽게 회수하고 다시 실행할 수 있습니다. 전반적으로 KARL SUSS/MICROTEC MJB 3는 엄청나게 고급적이고 정확한 마스킹 및 레티클 (reticle) 정렬 기이며, 가장 복잡한 photolithography 프로젝트에서도 고해상도 정렬을 제공 할 수 있습니다.