판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #9270076

KARL SUSS/MICROTEC MJB-3은 사진 석판 제작을 위해 설계된 광학 마스크 정렬 자입니다. 마이크로일렉트로닉스 (Microelectronics) 업계의 반도체 소자에 사용되는 초미세 (Ultra-Fine) 패턴을 만드는 다재다능하고 고정밀도 있는 도구다. MICROTEC MJB3는 굴절 마스크 정렬 기능으로 제작되었습니다. x, y 및 z축 이동을 제공하는 압전 단계에 의해 구동됩니다. KARL SUSS MJB 3에는 소규모 및 대규모 패턴 전송에 사용되는 가변 카메라 장비도 있습니다. 이 시스템은 또한 가변 감소 이미징 장치 (Variable Reduction Imaging Unit) 를 포함하고 있으며, 이는 다양한 패턴 크기로 매우 정확한 위치와 확대를 가능하게 하는 혁신적인 기능입니다. KARL SUSS/MICROTEC MJB3는 최대 600mm 웨이퍼의 일관된 높은 정확도와 처리량을 보장하도록 설계되었습니다. 뛰어난 이미지 안정성, 해상도, 이미지 오버랩 특성을 제공하므로 광학 인쇄 (optical printing) 어플리케이션에 적합합니다. MICROTEC MJB-3은 조정 가능한 유도 기계 인 특허를받은 VFT (Vertical Feed Through) 에 의해 달성 된 고급 위치 정확도를 갖습니다. VFT는 반복 가능한 노출 스핀 정렬 (spin alignation of exposure) 을 가능하게하며, 여러 노출 후에도 정확성을 보장하기 위해 간격 자유 등록 (gap free registration) 을 제공합니다. MJB-3 은 또한 기계식 자동 로드 및 언로드 (unloading) 툴을 제공합니다. 이 도구는 최소 연산자 오류와 함께 안정적이고 반복 가능한 웨이퍼 교환을 제공합니다. 이 자산은 자동화되어 있으며 5 미크론 이하의 반복 등록 정확도로 25mm (최대 600mm) 의 웨이퍼 크기를 처리 할 수 있습니다. 고정밀 사진 광학 장치 (High Precision Photographic Optic) 는 수동 렌즈 최적화 (Manual Lens Optimization) 를 필요로 하지 않으며 광학을 빠르고 안정적으로 정렬하여 높은 처리량과 효율성을 제공합니다. KARL SUSS MJB 3에는 소프트웨어 제어 프로세스 모델도 포함되어 있으며, 이를 통해 노출 매개변수 및 기타 관련 데이터를 쉽게 설정할 수 있습니다. 이 장비는 사진 프로세스의 모든 단계에 대한 상세한 제어 기록 (control record) 을 제공하며, 필요에 따라 수정할 수 있는 모든 장애 (fault) 를 쉽게 액세스할 수 있습니다. 전반적으로 MICROTEC MJB 3 마스크 알리그너 (MJB 3 Mask Aligner) 는 최고 수준의 정확도와 처리량을 제공하도록 설계된 사진 촬영 제작에 사용되는 고정밀 도구입니다. 굴절 마스크 정렬 장치 기능, 조정 가능한 안내 시스템, 기계식 자동 로드 및 언로드 장치, 사진 광학 및 소프트웨어 제어 프로세스 머신 인 KARL SUSS/MICROTEC MJB 3은 microelectronics에 필요한 패턴을 만드는 강력하고 신뢰할 수있는 도구입니다.