판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #9248457

KARL SUSS/MICROTEC MJB-3은 집적 회로 제조에 사용되는 반도체 도량형 장비 인 마스크 정렬 자입니다. MICROTEC MJB3 (MICROTEC MJB3) 에는 특수 챔버 (Special Chamber) 가 장착되어 있어 표준 웨이퍼와 고급 웨이퍼에서 서브미크론 정밀도로 복잡한 디자인을 만들 수 있습니다. 이것 은 회로 설계 가 들어 있는 "마스크 '에서" 웨이퍼' 로 "패턴 '을 전달 하기 위하여" 웨이퍼' 의 표면 을 "레이저 '로부터 집중 된 빛 에 노출 시킴 으로써 달성 된다. KARL SUSS MJB 3는 저비용, 고효율 광 구성 요소와 함께 고급 마스크 정렬기 (mask aligner) 기술로 인해 높은 처리량과 수율을 제공할 수 있습니다. 이 장비에는 4축 Object-Lens-Stage, 미러 지원 광학 정렬이 장착되어 있어 처리량을 극대화할 수 있습니다. 그 외에도, '듀얼 렌즈 (dual-lens)' 광학 장비는 개별 마스크가 설계의 목표 해상도와 약간 다른 해상도를 가질 수 있다는 사실을 보상합니다. 제조 비용과 결함을 줄이기 위해 KARL SUSS MJB-3은 광학 시스템 디포커스 조정 (defocus adjustment) 과 다양한 고급 확대 및 조명 매개변수를 통합합니다. 또한 7 인치 스테퍼 렌즈 (stepper lens) 는 초점 오류를 줄이고 전체 회로 설계가 정확한 레이저 광원에 균일하게 노출되도록 보장합니다. MICROTEC MJB 3은 또한 마스크의 열 뒤틀림을 줄이는 대류 냉각 마스크 홀더 (convection-cooled mask holder) 를 사용하여 디자인의 흐릿함 또는 잘못 정렬을 유발할 수 있습니다. MJB 3은 헤비 듀티 (heavy-duty) 밀봉 알루미늄 하우징을 사용하여 건설되어 장치가 진동성 있고 쉽게 재배치 할 수 있습니다. 이것은 다른 웨이퍼에 다른 방향이 필요할 수 있기 때문에 효율적인 웨이퍼 제조에 중요합니다. 또한, 이 장비에는 비디오 모니터링, 직접 경보 기계 및 조명식 레티클 (reticle) 이 장착되어 매번 일관된 결과를 제공합니다. MJB-3은 Thin Film 및 Large Area 웨이퍼 프로세싱과 같은 다양한 응용 프로그램에 이상적인 마스크 정렬기입니다. 이 장비는 대부분의 웨이퍼 디자인, 폴라라이저, 포토 마스크 재료와 호환되며, 모든 반도체 제조 응용프로그램에 다재다능하고 신뢰할 수있는 솔루션입니다.