판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #9248455

KARL SUSS/MICROTEC MJB-3은 다양한 재료의 정확하고 대규모 정렬을 위해 설계된 광학 마스크 정렬기입니다. 종종 사진 해설에서 마이크로 머시닝 (micro-machining) 에 이르는 응용 프로그램과 패턴 된 기판을 만드는 데 사용됩니다. 이 고도로 정확한 장치는 정교한 광학 장비, 자동 초점 제어 (Automatic Focus Control) 및 가변 압력 수동 정렬을 사용합니다. MICROTEC MJB3 (MICROTEC MJB3) 에는 마스크 봇 (Mask bot) 이 있습니다. 마스크 봇은 마스크 봇을 고정하고 가면을 기판 위로 정확하게 이동하며 마스크 봇을 사용하여 기판을 정확하게 배치합니다. 마스크 봇에는 두 단계를 이동하는 정확한 XYZ 모터가 포함됩니다. 하나는 마스크 정렬을, 다른 하나는 기판 정렬을 위한 것입니다. KARL SUSS MJB 3의 상대 정렬 정확도는 0.2 µm입니다. 또한 KARL SUSS/MICROTEC MJB3는 1.2 초까지 고해상도, 단일 레이어 정렬이 가능합니다. 또한 단일 마스크 및 이중 마스크 정렬, 최대 25.4m 해상도 및 4, 8 또는 12 인치 마스크 중에서 선택할 수 있습니다. 정확한 정렬을 위해 KARL SUSS MJB3는 마이크로 매니 펄레이터에 최첨단 레이저 기반 정렬 시스템을 갖추고 있습니다. 이 장치에는 단일 파장과 2 파장 (빨간색/녹색) 옵션이 포함됩니다. 2 파장 기계는 마스크 포지셔닝에서 더 많은 정확성을 허용하는 반면, 단일 파장 도구는 녹색 필름 마스크에서 가장 잘 작동합니다. MICROTEC MJB 3에는 마스크 정렬 정확도를 측정하기위한 정교한 방법도 포함되어 있습니다. 필름 마스크 (Film Mask) 의 가장자리와 기질의 가장자리 (Edge) 의 차이를 0.1 µm의 정확도로 측정하는 등 특수 접촉 측정을 사용합니다. 이 장치에는 진공 척 (vacuum chuck) 이 있으며, 이는 정렬 중에 기판을 신뢰할 수있는 보류를 제공합니다. 이 척은 저크 동작으로부터 기판을 보호하는 역할을합니다. 또한, 더 높은 클램핑 힘이 필요한 기판에 대해 선택 가능한 압력 제어 (pressure control) 옵션을 사용할 수 있습니다. 간단히 말해서, MICROTEC MJB 3는 다양한 어플리케이션을 위해 설계된 높은 정확도의 대규모 마스크 정렬기입니다. 안정적인 정렬 정밀도, 자동 초점 제어, 가변 압력 수동 정렬, 다중 마스크 구성 등을 제공합니다. 이 장치는 photolithography 및 micro-machining의 대량 생산과 패턴 된 기판을 만드는 데 이상적입니다.