판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #9091663
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판매
ID: 9091663
웨이퍼 크기: 2"
Mask aligner, 2"
Type 401001
Microscope: Leitz Wetzlar
Eyepieces: Periplan GF 16X
Objectives: H20X/.0.40, NPL 5X/0.09, and 10X/0.18.
KARL SUSS/MICROTEC MJB-3은 마이크로 전자 장치의 프로토 타입 및 생산에서 석판 처리에 사용되는 고정밀 마스크 정렬 자입니다. MICROTEC MJB3는 프로젝션 광학 장비를 통해 스텝 및 반복 노출을 사용하여 1um의 정렬 정확도를 허용합니다. 초고해상도 (Ultra High Resolution) 기능은 광학 정렬 문제를 최소화하고 생산량을 증가시키는 데 도움이 됩니다. KARL SUSS MJB 3은 직경이 최대 6 "(160mm) 인 필드 크기를 제공하며 정렬 시스템에는 20 포인트 자체 측정 광축 정렬 장치가있는 X&Y 축 선형 인코더가 모두 포함되어 있습니다. MICROTEC MJB 3은 운동학적 잠금 기능을 갖춘 고정밀 기계식 자동 초점이 있으며, 현장 간 전체 보상이 가능합니다. 또한 빔 쉐이핑 머신, 오렌지 필터, 드롭 감지 및 클리닝 도구가 포함됩니다. MICROTEC MJB 3에는 터치 스크린 및 PC-GUI 사용자 인터페이스가 모두 포함 된 디지털 디스플레이 콘솔이 있습니다. 현미경에는 낮은 배율 측면 및 단면 관측 기능이 모두 장착되어 있습니다. 즉, 디바이스를 안정적으로 처리하기 위해 완벽하게 자동화된 프로세스를 제공하며, 최소한의 추가 장비로 운영 라인에 통합할 수 있습니다. KARL SUSS/MICROTEC MJB3은 장치 제조를위한 신뢰할 수있는 도구이며 석판화 정확도에 대한 최고의 표준을 충족합니다. 높은 프로세스 생산량을 보장하고 반복 가능한 결과를 신속하게 산출합니다. 대규모와 소규모의 프로젝트에 모두 적합하며, 경제적인 '디바이스 생산' 도구가 되었습니다.
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