판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #9035395

KARL SUSS/MICROTEC MJB-3 Mask Aligner는 고해상도 광저항 프로세스를 사용하는 반도체 장치의 생산을 위해 특별히 설계된 컴팩트하고, 정확하고, 완전히 자동화 된, 미크론 수준의 정렬 장비입니다. 4 "x4" 의 면적에서 3 유로의 재배치 정밀도와 1-2 유로의 오버레이를 수행 할 수 있습니다. 이 시스템은 고급 레이저 자동 초점 (advanced laser autofocus) 기능을 사용하여 각 정렬 주기 전에 웨이퍼 및 렌즈의 정확한 위치를 감지하여 웨이퍼 정렬 위치의 정확성과 반복성을 보장합니다. MICROTEC MJB3 Mask Aligner는 Deep-UV, e-beam 및 ion-beam 리소그래피의 최대 해상도 요구 사항을 처리하도록 설계되었습니다. KARL SUSS MJB 3 정렬기는 확대/축소 및 미러링을 지원하는 스테퍼 모터 및 옵티컬 레버 구동 단계 및 반복 어셈블리를 사용합니다. 이 정렬은 편리한 웨이퍼 플립 (wafer flip) 또는 기판 교환을 위해 전동식 웨이퍼 인덱서 장치 (Motorized Wafer Indexer Unit) 를 갖추고 있으므로 처리 시간을 단축하고 더 높은 처리량을 준비합니다. MICROTEC MJB 3 마스크 조정기 (MJB 3 Mask Aligner) 의 제어 장치는 기계의 손쉬운 작동 및 관찰을 위한 통합 작동 패널과 그래픽 사용자 인터페이스를 통한 데이터 로깅 및 제어를 위한 IBM 호환 386 PC로 구성됩니다. PC와 패널은 함께 단단히 연결되어 터치에 민감한 LCD 모니터와 푸시 버튼 (Push-Button) 선택 도구로 인터페이스됩니다. 에셋은 독립형 (독립형) 모드로 작동하며, 더 큰 프로세스 제어 모델과 통합될 수도 있습니다. KARL SUSS MJB 3 Mask Aligner는 정렬 정밀도와 정확도를 위해 2 축 마이크로 미터 스테이지 제어 및 은하계 구동 레이저 제어를 사용합니다. 이 장비는 마스킹, 마스크 클램핑 및 기판 홀딩을 위해 수직 및 수평 진공 프레임을 사용하며, 높이 및 힘 클램프를 조절할 수있는 모듈식 기판 홀더 및 마스크 홀더 (mask holder) 어셈블리를 사용합니다. 운영자 안전은 보호 차폐, 키 인터 록 및 안전 인터 록으로 인해 MICROTEC MJB 3 시스템 설계에 통합됩니다. 이 장치는 최고 정격 전력 700 와트의 효율적인 에너지 소비를 위해 설계되었습니다. 95cm x 65cm (95cm x 65cm) 의 시스템 공간은 모든 반도체 제작 연구소에 이상적이며, 수많은 통합 기능을 통해 정확하고 반복 가능한 리소그래피를 위한 능률적이고 사용자 친화적 인 도구입니다.