판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #9024175

KARL SUSS/MICROTEC MJB-3은 마스크 정렬 기 또는 마이크로 리토 그래피 툴로, 반도체 제작에 사용됩니다. 이 도구는 주로 웨이퍼 사진 리토 그래피 (wafer photolithography), 광학 근접 교정 및 actinic 검사 과정에서 웨이퍼 패턴화에 사용됩니다. MICROTEC MJB3는 매우 정확하고 고해상도 단계를 가지고 있어 가장 정확한 결과를 제공합니다. KARL SUSS MJB 3 정렬 장치는 KARL SUSS/MICROTEC MJB 3 기본 플랫폼, 기판 정렬 시스템 (SAS) 및 특허를받은 MASA (Mask Alignment Sensor Array) 로 구성됩니다. 기본 플랫폼은 레이저 유도 정렬 시스템이 장착 된 안정화 레벨로 제작되었습니다. 이 "시스템 '은" 마스크' 와 관련 하여 기판 "웨이퍼 '수치 를 복사 과정 중 에 유지 하도록 설계 되었다. SAS는 기판 그라운드 레벨을 정확하게 배치 할 수있는 6 축 수동 단계입니다. 마지막으로, MASA는 사용자에게 노출 된 마스크 디자인의 실시간 피드백을 제공하는 4 개의 솔리드 스테이트 카메라로 구성됩니다. KARL SUSS MJB-3 aligner는 사진 활성화 기판 등록, 자동 패턴 생성 및 자동 실행 정렬 (Automatic Run Alignment) 기능을 포함하여 정밀 마스크 등록에서 탁월한 성능을 제공합니다. Photo-activated Substrate Registration은 최대 12 개의 웨이퍼를 동시에 등록 할 수 있습니다. 이 기능을 사용하면 설정 시간을 줄이고 전체 처리량을 향상시킬 수 있습니다. 자동 패턴 생성 (Automatic Pattern Generation) 기능을 사용하면 마스크 설계에 대한 사전 경험이 없더라도 새 마스크를 빠르게 생성할 수 있습니다. 마지막으로, 자동 실행 정렬 (Automatic Run Alignment) 기능은 미리 형성된 마스크를 기판 웨이퍼에 정확하게 등록할 수 있는 기능을 제공합니다. 또한 MJB 3은 High Throughput Polyimide Lapping, Single Substrate Mode 및 Renewable Substrate Registration과 같은 다른 기능을 제공합니다. 이러한 기능을 사용하면 보조 (secondary) 처리 작업에 소요되는 시간을 줄이고, 마스크 등록 시간을 단축하여 처리량을 극대화할 수 있습니다. 전반적으로 MICROTEC MJB 3 마스크 정렬기는 반도체 제조에 필수적인 구성 요소이며, 사용자에게 뛰어난 정확도와 높은 해상도를 제공합니다. 이 정렬자 (aligner) 는 효율적인 처리 기능을 제공하며, 새로운 마스크를 신속하게 생성하고, 여러 웨이퍼를 한 번에 등록할 수 있습니다.