판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #293797042

KARL SUSS/MICROTEC MJB-3 Mask Aligner는 4 인치 및 6 인치 기판에서 고해상도 접촉 리소그래피를 위해 특별히 설계된 풀 용량 정렬 및 노출 장비입니다. 현장의 초점 모니터, 고속 자동 초점, 통합 된 전동 Z 단계 및 매우 정확한 웨이퍼 정렬을 통해 MICROTEC MJB3는 미세 구조를 생산할 때 탁월한 정밀도를 제공합니다. 광학은 또한 매우 견고하여 선형성, 고대비, 선명한 이미지를 제공합니다. 시스템을 정확하게 제어하기 위해 KARL SUSS MJB 3에는 반복 가능한 고정밀 정렬, 초점, 노출 및 스테이지 단계를 위해 최적화 된 수치 광 제어 장치가 장착되어 있습니다. 이 기계는 복잡한 석판 공정을 단순화하기 위해 개발 된 MICROTEC MJB 3의 직관적 인 소프트웨어와 쉽게 인터페이스 할 수 있습니다. 즉, 구동 매개변수, 개체 크기 선택, 시스템 구성을 위한 사용자 친화적인 설정을 제공하여, 사용자가 쉽고 빠르게 신뢰할 수 있는 프로세스를 만들 수 있습니다. 또한 자세한 도구 성능 분석을 위한 설정과 결과를 포괄적으로 로깅할 수 있습니다 (영문). 모든 응용 프로그램에 대한 노출을 최적화하기 위해 에셋에는 다양한 조명 설정 (lumination settings) 과 가변 숫자 조리개 (variable numerical aperture) 가 포함됩니다. 가변 숫자 조리개 (Variable numerical aperture) 는 구조 크기 및 해상도 요구 사항에 따라 필요한 해상도를 달성합니다. 또한 반사 및 흡수 최적화 광학 (optic) 을 통해 사용자는 종횡비를 최대 8 인치까지 변경할 수 있습니다. 이렇게 하면 설계 종횡비가 마스크와 일치하도록 최적화하여 가장 높은 해상도 (resolution) 를 얻을 수 있습니다. 웨이퍼 로드 및 언로드를 위해 MJB 3 모델 (MJB 3 Model) 은 수동 처리 또는 조정 가능한 홀더가있는 통합 카세트 로더를 제공하여 최대 12 개의 웨이퍼를 수용합니다. 카세트 로더는 10 ° C의 낮은 제어 온도 조건을 제공합니다. 또한 기울기 (tilt) 및 회전 (rotation) 기능을 사용하여 각 샷에 대한 웨이퍼 방향을 조정할 수 있습니다. 전반적으로 MJB-3 Mask Aligner는 반복 가능한 정확성과 높은 해상도로 정확한 석판 패턴을 제공합니다. 정밀한 옵틱, 고급 소프트웨어, 최적화된 정렬 및 노출 설정, 향상된 로드/언로드 장비를 통해 업계의 연락처 석판화 프로세스 (Contact Lithographic Process) 를 선택할 수 있습니다.