판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #293795170

ID: 293795170
Mask aligner.
KARL SUSS/MICROTEC MJB-3 마스크 정렬기는 웨이퍼 위에 마스크를 정확하게 정렬하고 정렬하는 데 사용되는 장치입니다. MICROTEC MJB3은 가면을 가로, 세로, 깊이 방향으로 이동할 수있는 3 축 단계를 사용합니다. 또한 2 개의 독립적으로 조절 가능한 스테퍼 모터 구동 스테이지 (stepper motor-driven stage) 가 특징이며, 웨이퍼 위에 마스크의 정확한 초점 포지셔닝이 가능합니다. 현미경은 X-Y 방향으로 0.1 µm, Z축에서 0.05 äm의 해상도를 특징으로합니다. KARL SUSS MJB 3는 사진 해설을 위해 특별히 설계되었으며, 오늘날 가장 포괄적 인 마스크 정렬기 중 하나를 사용할 수 있습니다. 이 마스크 알링거 (Mask alinger) 는 입자 레벨 결과가 우수한 다양한 모양과 크기의 마스크를 만드는 데 적합합니다. 12 mm x 12 mm의 시야를 가지며 X-Y 방향에서는 0.1 µm, Z축에서는 0.05 äm입니다. 뷰 (field of view) 를 쉽게 확장할 수 있는 기능이 있어, 형상이 단단한 복잡한 패턴을 생성하는 데 적합합니다. KARL SUSS/MICROTEC MJB 3은 현미경에서 미세 초점 조정을 특징으로하며 최대 1.0 µm 이상의 정확성과 반복 성을 제공합니다. 이 초점 조정 기능은 작은 기하학적 특징으로 고정밀도 마스크 (high-precision mask) 를 만드는 데 적합하며, 빛에 민감한 기판에도 적합합니다. 또한 높은 정밀도로 최대 0.5 µm의 선 너비를 만드는 데 사용할 수 있습니다. 또한 MJB-3은 Wafer Sense 제어 (Wafer Sense Control) 기능을 통해 마스크를 웨이퍼에 정확하게 맞춰 조정할 수 있는 통합 Wafer Sense 제어 기능, 마스크 설계 시 쉽게 참조할 수 있는 데이터 저장 및 분석 기능, 최대 126mm 크기의 조정 가능한 마스크 프레임 크기 등 다양한 유용한 기능을 제공합니다. 또한 통합 포지셔닝 시스템, 공조 캐리어, 조명 및 안전 시스템, 주파수 생성기, 광학 필터, 다양한 광원이 포함됩니다. 전반적으로 MICROTEC MJB 3 마스크 정렬 장치는 사진 촬영 및 마스크 정렬을 위해 설계된 다용도, 고정밀 장치입니다. MICROTEC MJB 3는 3축 단계, 미세 초점 조정, 다양한 기능 배열을 통해 다양한 모양과 크기의 마스크를 만들 때 정확한 정렬, 반복 가능한 결과를 보장합니다. 광선 감광식 기판 (light-sensitive substrate) 과 선 너비 (최대 0.5 µm) 를 생성하기 위해 높은 정확도로 복잡한 패턴을 만드는 데 이상적입니다.
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