판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #293777763

KARL SUSS/MICROTEC MJB-3은 사진 해설에 사용되는 고급 자동 마스크 정렬 자입니다. 마스크 정렬기는 일련의 정렬 및 노출 작업으로 기판의 최대 8 "x 8" 크기로 IC (Integrated Circuit) 마스크를 처리합니다. 장비는 고급 옵티컬 어셈블리, 6 "다이오드 레이저 및 디지털 피드백 제어 시스템으로 구성됩니다. 이 장치는 수동 (manual) 또는 반자동 (programmable) 모드로 작동하여 정렬, 노출 및 전달 패턴의 다양한 매개변수 조합을 설정할 수 있습니다. 광원은 마스크를 정렬하고 노출시키는 데 사용되는 다이오드 레이저 (diode laser) 이며, 레이저 제어 시스템 (laser control system) 은 마스크 패턴을 photoresist와 정렬합니다. 레이저 빛은 투영 광학에 의해 소멸되고 집중되어 서브 미크론 정확도를 달성하는 반면, 마스크 패턴의 그림자 (강도) 는 ± 5 m 정확도로 기판에서 확인할 수 있습니다. 광도는 전자적으로 제어되며 장치를 물리적으로 수정하지 않고 5mW ~ 25mW 사이에서 조정 할 수 있습니다. 마스크 자체는 스테퍼 모터 스테이지 (stepper motor stage) 에 장착되며 강력한 스테핑 모터에 의해 구동됩니다. 마스크 정렬은 정밀도 (precision) 와 속도 (speed) 로 이루어지며, 패턴이 원하는 포토 esist에게 정확하게 겹쳐집니다. 이 기계는 웨이퍼 (wafer) 에서 집적 회로 (integrated circuit) 또는 복잡한 패턴에 이르기까지 다양한 작동 조건에 적응할 수 있습니다. 이 장치는 진공 시스템, 자동 마스크 처리 및 내장 웨이퍼 매핑 도구를 사용하여 완전히 자동화되었습니다. 이것은 빠르고 신뢰할 수있는 사진 분석 프로세스를 보장합니다. 기판 정렬 에셋에는 정밀한 매핑을위한 고급 비전 (advanced vision) 모델이 장착되어 있으며, 평면 및 높은 정확도는 ± 0.14mm입니다. 안전성을 보장하기 위해 MICROTEC MJB3에는 안전 셔터 (Safety Shutter) 가 장착되어 사용자에게 닿는 잔여 레이저 표시등을 방지합니다. KARL SUSS MJB 3은 빠른 정렬 및 노출 속도, 정확한 마스크 패턴 및 높은 반복성을 갖춘 최첨단 사진 촬영 장비에 적합합니다. 결과적으로 IC 설계 및 제조 연구소에 필수적인 도구입니다.