판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #293766399

KARL SUSS/MICROTEC MJB-3은 마이크로 일렉트로닉 및 광전자 장치의 제작을 위해 포토 리토 그래피 프로세스에 사용되는 고정밀 마스크 정렬 자입니다. MICROTEC MJB3 (MICROTEC MJB3) 은 정교한 포토 마스크를 기판에 정렬하는 데 높은 정도의 정확성과 반복성을 제공합니다. 이렇게 하면 기판에 대한 정밀도가 완벽한 패턴화된 레이어를 전송할 수 있습니다. KARL SUSS MJB 3은 광학 모듈, 정밀 기계 정렬 모듈 및 스테이지 제어 모듈로 구성되며, 모두 범용 플랫폼으로 결합됩니다. 광학 모듈에는 평행 조명 콘 (cone) 의 광선을 생성하는 무한대 보정 Koehler 형 조명기가 포함되어 있습니다. 조명 이미징 시스템은 빔 분할, 굴절 이미징 및 전동 확대 요소로 구성됩니다. 빔 분할 (beam-splitting) 요소는 이미지 필드를 광학 모듈의 오른쪽 및 왼쪽 렌즈 요소에 중점을 둔 4 개의 서브 필드로 분리하여 여러 photomask의 동시 정렬을 용이하게합니다. 정밀도 정렬 (precision-mechanical-alignment) 모듈에는 동력 요소가 장착되어 있어 마스크를 매우 정확하고 반복적으로 배치할 수 있습니다. 시스템은 선형 인코더와 정렬을 위한 스캔 헤드를 사용하여 X 및 Y 축을 따라 마스크 프레임의 이동을 안내합니다. 또한 높은 정밀도 위치 감지를 위한 교차 편광 빔 스플리터 (cross-polarizing-beam-splitter) 와 마스크의 올바른 위치를 위한 스트로크 길이 센서 (stroke-length sensor) 가 있습니다. 스테이지 제어 모듈은 3 단계 요소로 구성됩니다. 두 가지 주요 단계는 포토 마스크를 정확하게 스캔하는 반면, 조정 가능한 스테이지는 X 축과 Y 축에서 마스크의 정확한 동작을 제공합니다. 주요 단계에는 X 및 Y 스캐닝 축을위한 정밀도 배치 모터 2 개와 샘플의 빠르고 안정적인 회전을 위한 회전 축 (rotation-axis) 이 포함됩니다. 조정 가능한 단계에는 레티클 시프트 측정을위한 선형 인코더가 있습니다. MICROTEC MJB 3에는 실시간 이미징, 통합 소프트웨어 및 다양한 호환 액세서리가 포함됩니다. 또한 모든 모듈 및 구성 요소에 대한 진단 검사를 수행하는 자체 테스트 (self-test) 기능이 있습니다. 이러한 모든 기능은 KARL SUSS MJB3를 뛰어난 안정성과 정확성을 갖춘 고성능, 다용도 마스크 정렬기로 만듭니다.