판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #293743798

KARL SUSS/MICROTEC MJB-3 마스크 정렬 장치는 광석기 처리를 위해 설계된 정밀 옵토 기계입니다. 마이크로 일렉트로닉스 (Microelectronics) 와 반도체 산업 (Semiconductor Industries) 에서 주로 서브미크론 해상도 장치와 회로를 제작하는 데 사용됩니다. MICROTEC MJB3 (MICROTEC MJB3) 은 투영 및 영상 장비와 함께 연속 파동 레이저 소스를 사용하여 하드 포토 마스크에서 웨이퍼 표면 기판으로 패턴을 전송합니다. "마스크 '와" 기판' 을 주 의 깊이 정렬 할 수 있는 안정적 인 "레벨 '위치 장치 를 갖춘 두 가지 희생 단계 가 있다. 이 정렬은 매우 정밀하고 자동화된 X-Y 래스터 스캐닝 머신과 실시간 피드백과 1.3 나노미터 해상도의 Z축 깊이 제어에 의해 지원됩니다. KARL SUSS MJB 3은 구성에 따라 2 "또는 4" 또는 6 "또는 8" 또는 10 "마스크를 비출 수있는 0.55의 숫자 조리개 (NA) 를 가진 조명 렌즈를 가지고 있습니다. 또한, MICROTEC MJB-3은 안정적인 작동과 고해상도 반복성을 제공하도록 설계, 설계되었으며, 최소 설정 시간이 소요됩니다. "와퍼 '를 조정 할 수 있는 조정 가능 진공" 클램프' 를 갖추고 있다. 또한 MJB-3은 선 (line) 과 모서리 (edge) 보정기를 사용하여 모서리 프로파일을 정확하게 정렬합니다. 이 "보정기 '는 거리 요소 들 과" 드라이브' 장치 로 구성 되어 있으며, 이것 을 통해 해안 을 잘 제어 할 수 있다. 안전과 통제 측면에서 KARL SUSS MJB 3에는 2 개의 자체 연동 메커니즘이 장착되어 있습니다. 첫 번째는 전자기 연동 (electromagnetic interlock) 인데, 이 연동은 챔버 (chamber) 와 자동 초점 (autofocus) 판이 열릴 때 공구가 작동하지 않도록 합니다. 두 번째는 키 작동 연동으로, 무단 인력이 자산을 운영하지 못하도록 합니다. MJB 3은 광석기 처리를위한 강력하고 정확한 도구입니다. 모듈식 설계 (modular design) 와 정밀한 제어 모델 (control model) 은 까다로운 마스크와 기판을 사용해도 빠르고 정확한 결과를 얻을 수 있는 효율적이고 안정적인 장치입니다. 또한, 자가 연동 메커니즘은 안전하고 안전한 작동을 보장하며, 정밀 사진 해설을위한 신뢰할 수있는 플랫폼입니다.