판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #293705835

KARL SUSS/MICROTEC MJB-3 Mask Aligner는 반도체 생산 라인을 위해 안정적이고 정확한 석판화 도구입니다. 높은 광학 및 기계적 정확도로 마스크를 정렬하고 노출 (exposing) 할 수 있으므로, 정렬 반복성이 0인 일관되고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. MICROTEC MJB3은 여러 사용자 인터페이스를 포함하여 라이브 제어 및 조작이 용이한 반자동 장비입니다. 직경 150mm (또는 6 인치 웨이퍼) 의 웨이퍼를 지원하며, 스태커가 내장 된 레티클 홀더를 포함하여 다양한 마스크 프레임 및 여러 레티클 크기와 호환됩니다. KARL SUSS MJB 3에는 조명, 광학 시스템 및 기판 처리 장치의 3 가지 주요 구성 요소가 있습니다. 그 조명기 는 노이즈 (노이즈) 와 불일치 (불일치) 를 줄이기 위해 "마스크 '를 균일 하고 고도 로 효율적 으로 조명 하도록 설계 되었으며, 따라서" 웨이퍼' 에 "마스크 '를 신속 하고 간단 하게 정렬 할 수 있다. 노출의 해상도와 정확도를 높이는 다중 필드 투영 도구 (multi-field projection tool) 를 사용합니다. 조명광학 은 광원 과 "마스크 '틀 에서, 방사선 이" 마스크' 를 통하여 기판 으로 투영 되는 기판 단계 로 전달 된다. MJB3의 옵티컬 시스템은 높은 정확성과 안정성을 제공합니다. 모터 제어 줌 (motor-controlled), 정렬 (aligning) 및 레티클 홀더 (reticle holder) 광 자산이 장착되어 있어 포지셔닝, 정렬 및 마스크 간 등록을 용이하게 하여 일관되고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 그것의 고급 분광학 (spectroscopic) 능력은 또한 광속의 특성 (예: 강도 및 스펙트럼 조성) 을 정확하게 결정할 수있다. KARL SUSS MJB-3 (기판 처리) 모델에는 회전 및 변위가 가능한 플랫 기판 테이블 (flat substrate table) 이 있어 다양한 웨이퍼 크기와 유형을 사용할 수 있습니다. 직사각형 (Rectangular) 및 원형 (Round) 기판을 수용하여 생산 프로세스의 요구에 적응할 수 있습니다. 플랫 테이블은 또한 코팅 성능과 쉬운 기판 로딩에 대해 일관성을 보장합니다. KARL SUSS/MICROTEC MJB 3에는 5 개의 진공 헤드가 있으며, 이를 통해 마스크 정렬 장비의 정확한 제어 및 조작, 자동 웨이퍼 로딩 및 언로드가 가능합니다. MJB 3 마스크 알리너 (MJB 3 Mask Aligner) 는 고급 광학 및 기계 설계 덕분에 반도체의 효율적이고 안정적인 생산을위한 최고의 시스템 중 하나입니다. 높은 해상도와 정확성으로 인해 리소그래피 (lithography) 애플리케이션을 위한 안정적이고 비용 효율적인 솔루션이 됩니다.