판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #293685973

ID: 293685973
Mask aligner Chuck: Substrate size, 2"-3" Mask holders, 3.5"-4".
KARL SUSS/MICROTEC MJB-3은 박막 마이크로 일렉트로닉 회로의 제작을위한 고정밀 마스크 정렬 자입니다. "콘택트 마스크 '에서부터 기판 에 있는 박막 의 고해상도" 패턴' 에 이르기 까지 여러 가지 응용 에 적합 하다. MICROTEC MJB3 정밀 정렬기는 MIL-STD-882, Automated Pattern Transfer Systems와 같은 고주파 전자기 방사선 필드가 있는 경우 마스크를 정렬하도록 설계되었습니다. KARL SUSS MJB 3에는 Electromagnetic Radiation Shielding & Chamber, 전자기 정렬 장비, 정교한 동작 제어 시스템, X-Y-Z 동작 단계 및 진공 내 광학 정렬 장치가 장착되어 있습니다. 전자기 방사선 차폐 및 챔버 (Electromagnetic Radiation Shielding & Chamber) 는 고급 재료 기술을 사용하여 구현되며, 그 구성을 통해 강렬한 방사선 필드의 차폐가 가능합니다. 전자기 정렬 기계는 전자기장 (electromagnetic field) 을 사용하여 마스크를 기판에 맞춥니다. 이 도구는 또한 마스크 필름 (masked film) 이 높은 정확도로 기판에 정확하게 배치되도록 자동 조정 메커니즘을 포함합니다. 정교한 모션 컨트롤 (motion control) 자산은 마스크와 기판의 정확한 등록을 보장합니다. 구성 요소에는 PID (비례 통합 파생) 서보 루프, 정교한 프로그래밍 가능한 디지털 신호 처리 프로세서 및 고속 상태 기계 컨트롤러가 포함됩니다. [X], [Y] 및 [Z] 동작 단계는 마스크, 기판 및 광학을 세밀하게 움직이는 데 사용되므로 마스크 및 기판이 정확하게 정렬되도록 일치하는 등록을 보장합니다. KARL SUSS/MICROTEC MJB 3의 진공 내 광학 정렬 모델은 LDS (Laser Diffraction Spectroscopy) 및 반사 조명을 사용하여 기판과 마스크 등록 지점 사이의 거의 미세한 위치 친화성을 감지합니다. LDS 장비는 광학 측정 기준이며, 정확도가 높고, 속도가 빠릅니다. 반사 조명 (Reflective illumination) 은 표준 카메라와 LDS 시스템 사이의 간격을 채우고, 서브 픽셀 수준에서 고해상도 이미징 및 기능 탐지를 제공합니다. 마이크로텍 (MICROTEC) MJB 3 정밀 조정기 (precision aligner) 는 청소실 환경에서 사용할 수 있도록 설계되었으며, 예방 조치를 취하면 최대한의 안전성으로 작동 할 수 있으며, 이 장치는 제공된 지침을 준수하여 사용됩니다. KARL SUSS MJB3 마스크 정렬기는 박막 마이크로 일렉트로닉 회로의 제작을위한 신뢰할 수 있고 매우 정확한 기계입니다.
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