판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #293651903
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KARL SUSS/MICROTEC MJB-3 Mask Aligner는 연구와 생산에 모두 사용되는 정밀 정렬기로, 마이크로 일렉트로닉스 산업에서 귀중한 제품입니다. 이 장비는 서브 미크론 정렬 정확도 (sub-micron alignment accuracy) 가 가능하며, 석판화 기술의 최신 기술을 자랑하며, 더 세밀하고 복잡한 장치 및 집적 회로의 제작에 이상적입니다. 독보적인 듀얼 (dual) 광 경로 설계, 단일 광원 및 이동식 마스크 홀더는 완벽한 광원 동질성을 갖춘 최적의 이미징 환경을 만듭니다. 이 시스템은 4 인치에서 8 인치 웨이퍼, 다양한 두께를 통해 다양한 기판을 처리 할 수 있으며, 최대 유연성을 제공합니다. 마스크 알리너 (Mask Aligner) 는 특허를받은 저가 레이저 장치를 사용하여 리소그래피 (lithography) 에 사용되는 일반적인 광원 범위보다 작은 레이저 스팟 크기를 생성합니다. 이 작은 반점 크기를 사용하면 미세 피쳐를 정밀하게 정렬할 수 있습니다. 이중 광 경로 설계 (Optical Path Design) 는 높은 처리량을 유지하면서 정확한 정렬을 보장하며, 이동식 마스크 홀더를 사용하면 기판과 마스크를 빠르게 변경하여 생산성을 크게 향상시킬 수 있습니다. MICROTEC MJB3은 또한 오버레이, 사전 정렬, 중앙 정렬 및 쐐기 정렬, 더 큰 치수 정렬 대상 등 다양한 정렬을 허용합니다. 또한, 기계에는 통합 스테이지 스캐너 (integrated stage scanner) 가 포함되어 있어 와퍼의 정렬 표시를 자동으로 감지하고 옵틱을 조정하여 최적의 정렬 정확도를 보장합니다. KARL SUSS MJB 3은 또한 비상 정지 버튼, 아이 워시 스테이션 (eyewash station) 및 레이저 방사선에 지나치게 노출되지 않도록 조정 가능한 작동 챔버와 같은 몇 가지 안전 기능을 제공합니다. 보다 편리하게하기 위해, 이 도구에는 원격 작동, 데이터 저장, 정렬 결과의 후처리가 가능한 PC 기반 컨트롤러 인터페이스가 포함되어 있습니다. 결국, MICROTEC MJB 3 Mask Aligner는 정확하고 비용 효율적인 정렬 솔루션이 필요할 때 이상적인 선택입니다. 이 기계는 뛰어난 성능과 유연성으로 반도체 제조업체와 연구실 (Research Laboratories) 사이에서 인기있는 선택입니다.
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