판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #293630419

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KARL SUSS / MICROTEC MJB-3
판매
ID: 293630419
웨이퍼 크기: 4"
Mask aligner, 4".
KARL SUSS/MICROTEC MJB-3은 photolithography 응용 프로그램을 위해 설계된 최고급 마스크 정렬 자입니다. 새로운 미러 인미러 (mirror-in-mirror) 설계를 통해 뛰어난 정렬 정확성과 뛰어난 작업 공간을 보장합니다. 이 마스크 정렬기 (Mask Aligner) 는 광범위한 매개변수로 웨이퍼와 기판을 처리하면서 매우 조절되고 가열된 환경을 제공 할 수 있습니다. MICROTEC MJB3는 다양한 구성 요소와 기능으로 구성됩니다. 12 인치 균일 한 UV 광원이 장착되어 있어 포토 esist의 적절한 노출이 보장됩니다. 이 광원은 [높은 동적 대비], [단색] 및 [색상 LED 균일성] 과 같은 다른 설정으로 조정할 수 있습니다. 냉기 처리 기판 생산을 위해 내장 냉각 장비를 활성화 할 수 있습니다. KARL SUSS MJB 3은 혁신적인 광학 중심 시스템 (optical centering system) 을 사용하여 노출 전에 웨이퍼가 올바르게 배치되었는지 확인합니다. 이 장치에는 Z축 드라이브 및 중앙 센서가 포함되어 있으며, 이 센서는 챔버의 4 사분면 모두에 배치할 수 있습니다. 이렇게 하면 모든 면에서 정렬이 정확해집니다. 또한 X 및 Y 축의 수직 정렬 변경 및 웨이퍼 매핑을위한 XY 도량형 기계가 있습니다. 또한 마스크 정렬자 (mask aligner) 에는 마스크 등록을 위한 통합 도구가 포함되어 있어 빠르고 정확한 마스크 배치에 도움이 됩니다. 또한 MICROTEC MJB 3 (MICROTEC MJB 3) 에는 샘플과 시스템을 운영하는 사람들의 보호를 보장하는 다양한 안전 기능이 있습니다. 높은 수준의 정확성과 정확성을 유지하기 위해 30 분마다 자동 교정 (automated calibration) 을 수행하여 장비의 작은 차이를 감지 할 수 있습니다. 또한, 안전한 작동을 보장하기 위해 인터 록, 제한 스위치, UV 저압 모니터링 및 기타 기능이 장착되어 있습니다. 전반적으로 MICROTEC MJB 3은 다양한 photolithography 응용 프로그램에 적합한 고급 마스크 정렬 자입니다. 높은 수준의 정밀도, 정확성, 안전성 (Safety) 기능을 통해 신뢰할 수있는 마스크 정렬기를 찾는 모든 사람에게 적합한 옵션입니다.
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