판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #293627697
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ID: 293627697
웨이퍼 크기: 4"
Mask aligner, 4"
Front Side Alignment (FSA)
No BSA
Square plate, 6"
Vacuum chuck type.
KARL SUSS/MICROTEC MJB-3은 다양한 산업의 photolithography 프로세스에 사용되는 고정밀 마스크 정렬 자입니다. 반도체와 마이크로일렉트로닉스 제조업 (microelectronics manufacturing industry) 에 사용되는 포토 마스크 (photomask) 의 정확한 정렬을 제공 할 수있는 예술 장비의 상태입니다. MICROTEC MJB3 (MICROTEC MJB3) 에는 디지털 자동 초점 장비가 장착되어 있어, 첫 번째 마스크 레이어를 빠르게 정렬할 수 있습니다. 자동 초점 시스템은 포토 마스크 (photomask) 의 올바른 정렬 및 교정을 위해 고급 광학 정렬 기술을 사용합니다. 이 단위 의 높은 정확도 는 "포토마스크 '를 장치 의 기판 에 정밀 하게 정렬 시킨다. 정확한 마스크 정렬 외에도, KARL SUSS MJB 3은 또한 다양한 노출 시간 (multiple exposure time) 및 프로세스 매개변수 (process parameters) 를 포함하여 다양한 다른 기능을 제공하여 수동 조정의 필요성을 줄입니다. 조정 가능한 스텝 처리 (steped process) 매개변수를 사용하면 서로 다른 레이어를 다른 속도로 처리할 수 있으며, 그 결과 더 저렴한 비용으로 더 높은 품질의 제품을 얻을 수 있습니다. 마스크 정렬은 전체 프레임 또는 일련의 단계 (정확한 정렬을 위해) 로 수행할 수 있습니다. MJB-3 기계는 또한 다양한 고급 도량형 솔루션을 제공합니다. 통합된 도량형 툴을 사용하면 검사 데이터를 쉽게 액세스할 수 있어 쉽게 결과를 해석할 수 있습니다. 또한, 자산은 기존 도량형 도구에 통합되어 더 큰 테스트 및 검사 영역을 제공 할 수 있습니다. KARL SUSS MJB3 모델은 인상적인 마스크 정렬 외에도 다양한 photolithographic 기능을 제공합니다. 장비에는 더 정확한 이미지를 만드는 데 사용되는 SFD (Solid Field of Deflection) 생성기가 포함됩니다. 강력한 광학은 또한 비스듬한 조명 (Vilique Illumination) 및 투과율 보정 (Transmittance Corrections) 과 같은 다양한 기능을 제공하여보다 정확한 조명을 제공합니다. 이 시스템에는 또한 초고속 정렬 탐지기 (Ultrafast Alignment Detector) 가 있어 정렬 중에 마스크를 빠르게 찾아 배치합니다. MJB3 장치의 고정밀 (high precision) 은 반도체 및 마이크로 일렉트로닉스 제작 및 MEM (microelectromechanical system) 장치 제작을 포함하여 다양한 산업 및 응용 분야에서 사용할 수 있습니다. 마스크 정렬 장치 (Mask Alignment Machine) 는 컴퓨터 제어를 통해 사용자 오류 또는 설정 시간을 최소화하면서 정확하고, 정확하며, 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 모든 툴과 마찬가지로, MJB 3 은 자산 실행을 최적의 성능으로 유지하기 위해 주기적으로 유지 보수 (maintenance) 해야 합니다. 마이크로 텍 (MICROTEC) MJB 3 (MICROTEC MJB 3) 은 다양한 기능과 이점을 제공하여 다양한 산업 및 응용 프로그램에서 사용할 수있는 아트 마스크 정렬기의 상태입니다. 정확하고 정확한 마스크 정렬, 그리고 자동화 수준이 높은 MJB 3 는 모든 생산 설비에 대한 탁월한 투자 효과를 제공하므로, 비용/시간을 대폭 줄이는 동시에, 빠르고 양질의 생산이 가능합니다.
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