판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #293618665

KARL SUSS/MICROTEC MJB-3은 반도체 및 디스플레이 장치 제조에 사용되는 고정밀 마스크 정렬 자입니다. 이 기계 는 정확 한 "마스크 '를 높은 정도 의 정확도 와 반복성 을 가진" 기판' 의 정확 한 좌표 에 맞추도록 설계 되었다. 기계는 직경 13 인치 크기의 결정질 실리콘, 유리, 플라스틱, 금속 등 다양한 기판과 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. MICROTEC MJB3 마스크 정렬 장치는 주 제어 장치, 2 개의 마스크 단계, 2 개의 기판 단계, 2 개의 x-ray 플럭스 강도 측정 시스템 및 이미저 헤드로 구성됩니다. 주 제어 장치 (Main Control Unit) 에는 기계의 다양한 기능을 제어하고 모니터링하기 위한 모든 전자 장치가 포함되어 있습니다. 두 개의 마스크 단계는 광마스크 (photomask) 를 기판에 정밀하게 정렬하는 데 사용됩니다. 2 개의 기판 단계는 기판을 제자리에 고정시키고 정확한 정렬을 용이하게하는 데 사용된다. 2 개의 x-ray 플럭스 강도 측정 시스템은 정확한 정렬을 위해 단위 내의 X-Ray 강도를 측정합니다. 마지막으로, 이미저 헤드는 UV 조명에서 기판과 포토 마스크를 보는 데 사용됩니다. KARL SUSS MJB 3는 최고 20 나노 미터의 정렬 정확도에 대한 높은 반복성을 제공합니다. 이것은 2 개의 정밀 레이저 간섭계와 고해상도 스테퍼 모터를 사용하여 달성됩니다. 레이저 간섭계 (laser interferometer) 는 포토 마스크 (photomask) 와 기판 사이의 거리를 측정하는 반면, 고해상도 스테퍼 모터 (stepper motor) 는 각 정렬 점을 정확하게 달성합니다. MICROTEC MJB 3 기계에는 자동 웨이퍼 매핑 및 웨이퍼 정렬 스캔, 자동 초점 기능, 완전한 x-ray 검사 기능, 최적화 및 특성 도구 등 여러 가지 고급 기능이 있습니다. 엑스레이 검사 기능 (x-ray inspection capability) 은 마스크가 기판에 옮겨져 장착되기 전에 정확하게 정렬되도록 하는 데 특히 유용합니다. 최적화 및 특성 도구 (optimization and characleization tools) 는 기판에서 각 photomask의 정확한 정렬을 결정하는 다양한 옵션을 제공합니다. 전반적으로, MJB3 마스크 정렬기는 기판에 대한 포토 마스크 (photomask) 의 정확한 정렬을위한 매우 정교하고 정확한 기계입니다. 높은 수준의 반복성과 고급 기능을 제공함으로써, KARL SUSS MJB 3는 안정적이고 정밀한 마스크 정렬이 필요한 반도체 및 디스플레이 장치 업계의 사람들에게 탁월한 선택입니다.