판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #293590392

KARL SUSS/MICROTEC MJB-3은 생산 레벨 Photolithography를 위해 특별히 설계된 전용 Mask Aligner입니다. 포토리토그래피 (Photolithography) 에서는 자외선 (Ultraviolet Light) 에 노출시켜 미세 패턴을 포토 마스크에서 실리콘 웨이퍼로 옮기며, 이는 웨이퍼에 장치를 배치하는 데 매우 정확합니다. MICROTEC MJB3 Mask Aligner는 포지셔닝 정확도 ± 0.3jm 및 반복 가능성 ± 0.2m로 매우 높은 정확도를 제공합니다. KARL SUSS MJB 3 aligner는 두 개의 독립적 인 정렬 시스템을 제공합니다. 첫 번째는 현미경 정렬 장비로, 4x - 64x 배율의 고해상도 디지털 CCD 카메라 (1280 x 1024, 5.5jm 피치) 와 픽셀 당 0.06äm의 정렬 정확도로 구성됩니다. 두 번째 정렬 시스템은 조잡한 정렬을위한 스테퍼 유닛으로, 조잡한 정렬에 대한 위치 정확도 0.4äm의 고해상도 단계 (1,800 x 1,800 피치) 로 구성됩니다. KARL SUSS MJB-3 정렬기는 매우 혁신적인 이미징 머신을 장착하여 탁월한 시야를 제공합니다. 픽셀 해상도당 26.6äm에서 최대 200mm (최대 200mm) 의 시야를 통해 넓은 면적에 노출 할 수 있습니다. 이는 장거리 50mm 2.5X 줌 객체와 2 개의 디지털 시프트 렌즈를 사용하여 달성됩니다. 이미징 도구에는 확장된 동적 작업 범위 (dynamic working range) 와 감도 (sensitivity) 가 가능한 밝은 필드 이미징 자산이 장착되어 있습니다. MJB3 aligner는 최대 노출 필드 크기 8 "x 8", 노출 용량 범위 0.1 - 250 mJ/cm2 및 노출 정확도 ± 2% 와 같은 광범위한 고급 노출 매개 변수를 제공합니다. 또한 최대 유연성을 위해 싱글 빔 (single-beam), 멀티 빔 (multi-beam) 및 프로그래밍 가능한 빔 노출 (beam exposure) 과 같은 다양한 노출 유형을 제공합니다. 마지막으로, MICROTEC MJB 3 마스크 정렬기는 최고의 성능, 제어 가능한 처리량 및 탁월한 정확도를 제공하기 위해 고도로 통합되었습니다. 성능을 위해 가열된 진공 척 (vacuum chuck) 을 제공하며, 단일 실행에서 최대 5 개의 웨이퍼를 처리하여 높은 처리량 생산 환경을 보장합니다. 또한 KARL SUSS MJB3 는 많은 소프트웨어 패키지와 호환되며 독립 실행형 모델로, 또는 완전 자동 생산 라인의 일부로 사용할 수 있습니다.