판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #133962
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ID: 133962
웨이퍼 크기: 3"
Mask aligner, 3"
Top side only
505 power supply
KARL SUSS normal field microscope
UV300 exposure optics
KARL SUSS M400 normal field microscope
LEITZ 10x eyepieces
LEITZ 5x/10x/20X objectives
KARL SUSS 15W illuminator
Vacuum chuck
CCD camera
Monitor.
KARL SUSS/MICROTEC MJB-3 Mask Aligner는 PCB (Printed Circuit Board) 제조에 사용되는 고정밀도, 고해상도 포토 마스크를 생산하도록 설계된 포토 리토 그래피 노출 장비입니다. 이 시스템은 마스크 생산에 다양한 옵션을 제공하며, 서브미크론 해상도 (Submicron Resolution) 패턴을 생성할 수 있습니다. 이 정렬기는 다중 레이어 작업에 대한 임계 정렬에 대한 단계 및 반복 노출을 모두 수행할 수 있는 기능을 통해 단일 레이어 (single-layer) 및 다중 레이어 (multi-layer) 포토마스크 (photomask) 를 생성하는 데 사용할 수 있습니다. MICROTEC MJB3 (MICROTEC MJB3) 은 여러 개의 구성 요소로 구성되어 있으며, 모두 함께 작동하여 품질의 최종 제품을 생산합니다. Bernelli 프로젝터는 고강도 UV 조명 (UV 및 UV-C) 을 사용하여 이미지를 photomask 레이어에 투영하는 이 장치의 주요 구성 요소입니다. 그런 다음, "마스크 '를" 마스크' 정렬기 의 고정 기지 에 놓고 기계 의 광학 "마스크 '단계 에 맞추어 조정 한다. 이 고해상도 단계 (high resolution stage) 는 서브미크론 정렬 정확도를 허용하며 매우 미세한 선과 공간의 패턴을 생성합니다. 포커스 중심 도구 (Focus Centering Tool) 를 사용하면 Bernelli 프로젝터의 빔을 빠르고 정확하게 초점을 맞출 수 있으므로 photomask에서 해상도가 가장 높습니다. 캡처 옵션 (Capture Option) 에셋을 사용하면 CAD (Computer-Aided Design) 모델에서 노출된 포토마스크 레이어로 데이터를 전송할 수 있습니다. 또한, 정렬 (Alignment) 장비는 마스크 대 마스크 및 동일한 마스크를 기준으로 마스크 정렬의 정확성과 반복성을 보장합니다. KARL SUSS MJB 3 시스템은 연속, 배열 또는 개별 마스크 크기를 포함하여 다양한 크기와 마스크 모양을 로드 할 수 있습니다. 또한, 이 장치는 선택 가능한 사전 설정 (exposure settings) 을 제공하며, 각 작업의 특정 요구 사항에 맞게 사용자 정의 가능한 설정을 제공합니다. 이 시스템에는 자동 차단 기능도 있으며, 물론 사용자 안전을 제공합니다. 옵션인 Smart Exposure Machine (스마트 노출 기계) 을 사용하면 photomask를 자동으로 노출하여 사용자 오류를 제거하고 처리량을 증가시킬 수 있습니다. 유연성과 편의성을 높이기 위해 MICROTEC MJB-3 Mask Aligner는 MICROTEC MAGiC "Armless" Mask Cleaner와 호환되므로 사용자가 한 번에 여러 마스크를 노출 할 수 있습니다. 이 도구는 각 노출 후 깨끗하고 마른 마스크 (dry mask blank) 를 제공하도록 설계되어, 다음 노출 전에 수동으로 마스크를 제거하고 청소할 필요가 없습니다. 전반적으로 KARL SUSS/MICROTEC MJB 3 Mask Aligner는 인쇄 회로 기판 제작에 사용할 고정밀도, 고해상도 포토 마스크 제작에 적합한 도구입니다. 다중 컴포넌트, 자동 노출 설정 (automated exposure settings), 사용이 간편한 정렬 에셋 (alignment asset) 의 조합으로 완벽한 고해상도 마스크를 빠르고 효율적으로 생산할 수 있는 이상적인 모델입니다. 다른 장비와의 유연성과 호환성을 통해 다양한 운영 요구 사항을 충족할 수 있습니다 (영문).
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