판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #114445

KARL SUSS/MICROTEC MJB-3은 반도체 제조 공정에 사용하기 위해 개발 된 마스크 정렬 자입니다. 이 제품은 고유한 고해상도 광학 이미징 (optical imaging) 기술을 사용하여 정확성과 반복성을 보장하는 고밀도 정렬 장비입니다. 이 시스템은 고급 반도체 제조를 위해 웨이퍼에 2 개 또는 3 개의 개별 포토 마스크 (photomask) 를 미리 정의된 패턴에 이미지화하고 정렬하도록 설계되었습니다. MICROTEC MJB3는 로봇 공학, 광학, 소프트웨어의 독특한 조합을 사용하여 미리 정의된 photomask를 웨이퍼에 정확하게 정렬합니다. 독자적인 GUI (Graphics User Interface) 와 제어 프로그램을 갖춘 통합형 독립 실행형 개인용 컴퓨터로, 사용자가 정렬을 편리하게 설정, 정렬 및 모니터링할 수 있습니다. 또한 대상 위치, 이미지 품질, 정렬 속도 (Alignment Speed Selection) 와 같은 여러 표준 사용자 정의 정렬 매개변수가 장착되어 있습니다. KARL SUSS MJB 3은 한 번에 최대 3 개의 마스크를 쉽게 구성하고 처리하도록 설계되었습니다. 뛰어난 열 성능, 기본 이미징 수차 (Fundamental Imaging Aberration) 및 높은 정확도의 정렬 기능을 갖춘 풀 필드 투사 장치에 가려진 마스크 당 1 개의 빔을 사용합니다. 또한, 현미경은 정확하게 정렬 된 하위 픽셀 위치로 웨이퍼를 스캔 할 수 있습니다. 해상도 증가는 시야 내 마스크 정렬에 5 도 (m) 작게 유리하다. KARL SUSS MJB 3는 고속 로봇 암, 밀폐 된 챔버, 디지털 인코더 및 베어링 슬라이드, 정교한 소프트웨어, 그리고 정렬을 빠르고 정확하게 수행 할 수있는 인상적인 디지털 탐지기 배열을 갖춘 자동 머신입니다. 또한 반복 가능하고 정확한 정렬 성능을 제공합니다. 또한 aligner는 박막 photomask에서 큰 step-and-repeat 패턴에 이르기까지 다양한 photomask를 지원합니다. 요약하면, KARL SUSS MJB-3은 강력하고 사용자 친화적 인 마스크 정렬기로, 고급 반도체 장치 제조에 적합합니다. 포토 마스크 (photomask) 를 작은 시야 내에서 웨이퍼에 정렬하는 데 높은 정확도, 정밀도, 반복성을 제공합니다. 이 제품은 반도체 웨이퍼 (wafer) 의 대용량 제조에 적합하며, 다양한 생산 사이트에 설치되는 자동화된 도구입니다.