판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MJB-21 #9140521
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KARL SUSS/MICROTEC MJB-21은 주로 광석기 처리에 사용되는 고정밀 마스크 정렬 자입니다. 이 제품은 서브미크론 반도체 소자와 부품의 정확한 제작을 위해 깨끗하고, 안전하며, 신뢰할 수 있는 환경을 제공하도록 설계되었습니다. MICROTEC MJB-21의 가열 단계는 150mm x 190mm이며 4 "기질의 이동을 허용합니다. 4 인치 웨이퍼에 최대 5 미크론의 정렬 지점 배치를 가진 1 x 1 "영역에 균일 한 노출이 있습니다. 또한, KARL SUSS MJB 21은 장치 구조의 정확한 정렬 및 결합을 실현하기 위해 이미지 프로세싱과 정렬 모니터를 갖추고 있습니다. KARL SUSS/MICROTEC MJB 21은 1 x 1의 압력 제어 균일 노출 면적을 가진 독립적이고 프로그래밍 가능한 400 와트 수은 아크 램프 2 개를 갖추고 있습니다. 램프는 cm2 최대 출력당 11 mJ로 10 초에서 250 초까지 독립적으로 노출 시간을 변경할 수 있습니다. 이는 다양한 재료를 처리하는 데 필요한 유연성을 제공합니다. MICROTEC MJB 21 (MICROTEC MJB 21) 은 내장 현미경을 사용하여 빠르고 정확하며 반복 가능한 정렬을 제공하며 마스크에 대한 기판의 수동/자동 정렬을 사용합니다. MJB-21 마스크 정렬기 (MJB-21 Mask Aligner) 는 스테이지에 가열 요소를 포함하며, 각 응용 프로그램에 맞게 조정 가능한 습도로 실온에서 섭씨 100도까지 설정할 수 있습니다. 이 스테이지에는 정밀 포지셔닝 및 진공 척 (vacuum chucking) 장비가 있으며, 정확한 기판 배치와 0.5 미크론의 미세 단계가 가능합니다. KARL SUSS MJB-21에는 원격 진단 및 유지 관리 인터페이스가 포함되어 있어 설정을 단순화하고 전반적인 안정성을 향상시킵니다. MJB 21은 또한 고급 진공 시스템을 사용하여 정렬 과정에서 공기의 움직임을 최소화합니다. 이를 통해 반복 가능한 결과와 정확하게 조정할 수 있으며, 디바이스의 오염을 줄일 수 있습니다. KARL SUSS/MICROTEC MJB-21에는 2 개의 마스크를 동시에 자동으로 처리하는 이중 리프트 오프 유닛과 2 개의 마스크를 정확하게 배치하는 중앙 머신이 있습니다. 따라서 복잡한 레이아웃으로도 보다 효율적이고 정확한 디바이스 처리를 수행할 수 있습니다. MICROTEC MJB-21 (MJB-21) 은 고밀도 마스크 정렬기로, 사용자에게 사용 가능한 가장 고급이고 정확한 사진 해설을 제공하도록 설계되었습니다. 4 인치 웨이퍼에 최대 5 미크론 배치 인 1x1 "의 균일 하게 노출 된 영역을 제공합니다. 2 개의 독립적이고 프로그래밍 가능한 400 와트 수은 아크 램프, 1 x 1 "의 압력 제어 균일 노출 영역, 원격 진단 및 유지 보수 인터페이스, 고급 진공 도구 및 2 개의 마스크를 동시에 처리 할 수있는 이중 리프트 오프 에셋이 특징입니다. 이러한 모든 기능을 통해 KARL SUSS MJB 21은 효율적이고 정확한 사진 석판 처리에 이상적인 도구가됩니다.
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