판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MJB-21 #9096329
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ID: 9096329
웨이퍼 크기: 3"
Double-sided mask aligner, 3"
(2) Lamps: 200 Watt
(2) Power supplies
Automatic light sources
Semi-automatic operation function program
High resolution double-sided alignment: ± 2 Microns.
KARL SUSS/MICROTEC MJB-21은 대량 생산 및 연구 수준 프로세스에서 일반적으로 광석기에 사용되는 고정밀 마스크 정렬 자입니다. MICROTEC MJB-21은 3 축, 컴퓨터 제어, 고정밀 노출 기계로, 다양한 기판에서 매우 정밀한 microfabrication 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 사용자는 다양한 프로그램 가능한 모션 컨트롤, 노출 조명, 노출 레벨, 미리 정의 된 정렬 정확도 및 정확한 생산에 필요한 기타 매개 변수를 제공합니다. KARL SUSS MJB 21은 175w 수은 Xenon 램프를 현미경 수준의 조명의 원천으로 사용합니다. 이 램프는 견고하고 안정적이며, 매번 정확한 노출을 제공합니다. 이 램프는 또한 365 nm의 파장을 가지며, 원하는 노출 유형에 따라 조정 할 수 있습니다. 또한 MJB 21은 특허를받은 SMPR (Sub-Micron Positioning Resolution) 장비를 통합하여 0.1 미크론의 정확성을 보장합니다. 이 SMPR 시스템은 단계 내 포지셔너 (in-stage positioner) 와 높은 정밀도 레이저 간섭계를 사용하여 가장 작은 물체에 대해서도 정렬 정밀도를 유지하면서 작업 표면의 정확한 이동을 허용합니다. 고정밀도 응용 프로그램에 대한 성공적인 사진 해설을 위해 KARL SUSS MJB-21의 정확도를 모니터링하고 평가해야합니다. 이것 은 기계 에 내장 된 "레이저 '간섭계 를 정기적 으로 사용 함 으로써 모니터링 된다. 간섭계 (interferometer) 는 모든 노출 (exposure) 이 올바른 정렬로 수행되도록 하여 최적의 생산 결과를 가져옵니다. 변경이 필요한 경우 KARL SUSS/MICROTEC MJB 21 고유의 SMPR 기술을 사용하면 새 프로세스의 사용자정의 매개변수 몇 개를 사용하여 현재 정렬을 자동으로 업데이트할 수 있습니다. MJB-21은 낮은 열 드리프트, 높은 신뢰성 및 낮은 유지 관리를 위해 설계되었습니다. 제어 알고리즘 (Control Algorithm) 은 비교적 간단하며, 장치 (Unit) 에는 여러 노출 및 정렬 레벨이 장착되어 있어 애플리케이션에 가장 적합한 알고리즘을 선택할 수 있습니다. 전반적으로 MICROTEC MJB 21은 마이크로 제조 공정을 위해 특별히 설계된 고급 마스크 정렬 자입니다. KARL SUSS/MICROTEC MJB-21에는 조정 가능한 조명, 정렬 수준, 동작 제어 등 다양한 사용자 정의 가능한 기능이 있으며, 이를 통해 고정밀 프로세스를 정확하고 정확하게 수행할 수 있습니다. 열 유동 (thermal drift) 을 최소화하고 유지 보수가 적은 견고하고 신뢰할 수있는 기계입니다. MICROTEC MJB-21은 매우 높은 정확도와 정밀도를 요구하는 모든 프로세스에 필수적인 도구입니다.
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