판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC Mask Track Pro #293634693
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판매
ID: 293634693
빈티지: 2007
System
DIW Heater
Media cabinet
Booster pump
O3 Generator
AC Rack
Transformer
Camera PC
2007 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC Mask Track Pro는 photolithography 응용 프로그램에서 미세 기하학을 제작하는 데 사용되는 최첨단 마스크 정렬 자입니다. 극도로 정확한 제어를 위해 정밀 웨이퍼 단계를 활용하는 MICROTEC Mask Track Pro (MICROTEC Mask Track Pro) 는 매우 정밀한 마스크 정렬과 고해상도 스테이지 스캐닝 기능을 제공합니다. 정렬기는 최적의 정렬 정확도와 신뢰성이 필요한 어플리케이션을 위해 특별히 설계되었습니다. KARL SUSS Mask Track Pro의 완전 자동화 정렬 장비는 최첨단 화이트 라이트 간섭계 시스템을 기반으로합니다. 간섭계 (interferometer) 는 파인 소이드 프린지 (sinusoidal fringe) 패턴을 포토 마스크 (photomask) 에 투영하여 센서로부터 물체의 정확한 거리와 직접 상관 관계가있는 신호를 유도한다. 이 신호는 고급 CCD 카메라로 측정되어 정확한 마스크 등록이 가능합니다. 고속 센서 (High-Speed Sensor) 는 정확한 모터와 함께 마스크를 웨이퍼에 매우 빠르고 정확하게 정렬할 수 있습니다. 또한, Mask Track Pro에는 6축 최적화 감도 기능이 장착되어 있어 보다 정확하고 안정적인 정렬이 가능합니다. 또한 KARL SUSS/MICROTEC Mask Track Pro에는 최대 2 미크론의 해상도로 패턴을 만들 수있는 고해상도 스테이지 스캐닝 위치 조정 장치가 장착되어 있습니다. 이 기능을 사용하면 photomask에서 피쳐를 매우 정확하게 제어할 수 있습니다. 기계는 200 나노 미터의 단계 해상도로 스테이지를 포지셔닝 할 수 있습니다. 또한 MICROTEC Mask Track Pro는 자동 웨이퍼 로딩 기능을 제공하여 정확한 웨이퍼 정렬을 지원합니다. KARL SUSS Mask Track Pro는 고해상도 기능과 미세한 형상으로 포토마스크를 정확하게 정렬하는 강력한 마스크 정렬기입니다. 고급 간섭계 (Advanced Interferometer) 도구를 사용하면 웨이퍼 및 고속 모터에 대한 포토마스크 영역의 정확한 설정을 통해 빠르고 정확한 추적을 수행할 수 있습니다. 고해상도 스테이지 스캐닝 (scanning) 자산은 정확한 피쳐 생성을 보장하며 자동화된 웨이퍼 로딩 모델은 정확한 정렬을 보장합니다. 고급 디자인과 강력한 성능을 갖춘 마스크 트랙 프로 (Mask Track Pro) 는 까다로운 사진 해설용 어플리케이션을 위한 다양하고 안정적인 선택입니다.
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