판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA / BA 8 Gen4 Pro #293824970

ID: 293824970
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2025
Mask aligner, 8" Top Side Alignment (TSA) Bottom Side Alignment (BSA) Motorized X, Y, and Theta alignment stage (0.1 um resolution) Screen split field microscope Motorized fine focus (2) 5x Objectives (2) 10x Objectives UV LED Exposure system MO Exposure optics 9" x 9" Mask holder 8" Chuck with N2 Purge Custom N2 Purge system UV Measurement system Optometer Probe: 365/405nm Double membrane vacuum pump PLC Control 2025 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC MA/BA 8 Gen4 Pro는 반도체 제조, 연구 및 개발 및 마이크로 일렉트로닉스 응용 프로그램의 고급 사진 석판 공정을 위해 설계된 최첨단 마스크 정렬 자입니다. 이 정밀 정렬 도구 (precision alignment tool) 는 최신 나노 기술 및 MEMS 장치 제작의 까다로운 요구 사항을 충족할 수 있는 높은 정확성과 처리량을 제공합니다. MICROTEC MA/BA 8 Gen4 Pro는 안정된 작동과 사용 편의성을 보장하는 강력하고 인체 공학적 설계를 특징으로합니다. 모듈식 아키텍처를 통해 발전하는 프로세스 요구 사항을 충족할 수 있도록 사용자 지정 및 향후 업그레이드가 가능합니다. 이 장비에는 고급 옵틱, 정밀 정렬 단계, 직관적인 소프트웨어 제어, 스마트 자동화 (Smart Automation) 기능이 장착되어 있어 워크플로우 효율성을 최적화하고 운영자의 개입을 최소화합니다. KARL SUSS MA/BA8 GEN4 PRO의 주요 하이라이트 중 하나는 고해상도 광학 시스템으로, 중요한 패턴 작업에 대한 서브 미크론 정렬 정확성을 가능하게합니다. 이 단위는 마스크 및 기판을 매우 정밀하게 정렬하여 기판 서피스 (substrate surface) 에 패턴을 정확하게 전달할 수 있습니다. 이러한 정렬 정밀도 수준은 반도체 장치 제작에서 단단한 오버레이 공차 (overlay tolerance) 와 고해상도 (high-resolution) 패턴을 달성하는 데 중요합니다. MA/BA 8 Gen4 Pro에는 고급 정렬 알고리즘 및 소프트웨어 제어 (Software Control) 가 장착되어 있어 자동 정렬 절차를 통해 설정 시간을 줄이고 반복 가능성을 향상시킬 수 있습니다. 이 기계는 글로벌 정렬 (global alignment), 로컬 정렬 (local alignment), 자동 패턴 인식 (automatic pattern recognition) 을 포함한 여러 정렬 모드를 제공하여 다양한 응용 프로그램에 대한 다양한 정렬 전략을 수용합니다. KARL SUSS/MICROTEC MA/BA8 GEN4 PRO는 정렬 기능 외에도 다양한 노출 파장, 광원 및 노출 모드를 지원하는 다용도 노출 도구를 갖추고 있습니다. 에셋은 웨이퍼, 마스크, 유연한 기판 등 다양한 유형의 기판을 처리 할 수 있으며, 포토 마스크 제작, 장치 패턴, 센서 제작 등 다양한 리소그래피 애플리케이션에 적합합니다. KARL SUSS MA/BA 8 Gen4 Pro는 고급 프로세스 모니터링 및 제어 기능을 통합하여 일관되고 안정적인 리소그래피 결과를 보장합니다. 이 모델은 실시간 피드백 메커니즘, 용량 제어, 노출 균일성 최적화를 제공하여 프로세스 안정성 및 생산성을 향상시킵니다. 사용이 편리한 인터페이스로, 프로세스 분석 및 최적화를 위한 직관적인 운영 및 데이터 시각화 툴을 제공합니다. 전반적으로 MICROTEC MA/BA8 GEN4 PRO는 다재다능하고 신뢰할 수있는 마스크 정렬기로, 고급 반도체 및 마이크로 일렉트로닉스 산업의 엄격한 요구 사항을 충족합니다. 고성능 옵틱, 정밀한 정렬 기능, 자동화된 워크플로우, 고급 프로세스 제어 (process control) 기능을 갖춘 이 장비는 최첨단 전자 장치 및 마이크로구조의 제작에서 탁월한 패턴 해상도, 정렬 정확도, 프로세스 효율성을 실현합니다.
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