판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA / BA 6 #293826496

KARL SUSS/MICROTEC MA/BA 6은 얇은 패턴 호일 (마스크) 을 기판에 정렬하는 데 사용되는 완전 자동화 된 웨이퍼 스테퍼/마스크 정렬 자입니다. MICROTEC MA/BA 6은 종종 제작 목적으로 마이크로 일렉트로닉스 산업 및 연구 조직에 사용됩니다. 웨이퍼 스테퍼/마스크 정렬기는 은하계 및 컨트롤러가있는 2 개의 독립적 인 6 축 제어 요소로 구성된 '빔' 디자인을 특징으로합니다. 아혈도계는 기판의 평면 표면 스캔을 제어합니다. 컨트롤러는 높은 위치 정확도로 3차원 모두에서 정확한 좌표계를 유지합니다. KARL SUSS MA/BA 6은 직경이 최대 8 "(200mm) 인 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 마스크 크기는 6인치 (152mm) 에서 최대 8인치 (200mm) 입니다. MA/BA 6의 노출 필드 크기는 최소 5.5 m × 5.5 m에서 최대 8 mm × 8 m입니다. "스테퍼 '는 정밀 한 반복성 과 정확성 이 있는 색인 장비 로 설계 되었다. 이것은 '4 점 점수 주소' 를 통해 달성되며, 이는 인덱스 시스템이 인식하는 마스크 가장자리 (또는 크롬없는 레티클) 에 균등하게 간격이있는 4 개의 구멍으로 구성됩니다. KARL SUSS/MICROTEC MA/BA 6에는 거품 조정 장치 (foam adjustment unit) 와 같은 몇 가지 옵션 기능이 있으며, 이를 통해 컴퓨터에 설치된 마스크 또는 레티클에 대한 특정 장력을 설정할 수 있습니다. 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 는 또한 수동으로 작동하는 로드 잠금 (load lock) 을 특징으로하며, 단일 또는 다중 기판을 로드하고 노출/정렬 프로세스 전에 식힐 수 있습니다. MICROTEC MA/BA 6에는 tandem vision 도구가 포함되어 있습니다. tandem vision 도구는 여러 카메라를 사용하여 비교를 위해 정렬 대상의 이미지를 캡처합니다. KARL SUSS MA/BA 6의 고급 기능에는 다음이 포함됩니다. 연속적으로 실행되는 여러 작업, 고해상도 R2R 마스크 플레이트 리더 및 강력한 패턴 일치 알고리즘을 프로그래밍하는 기능. 더 높은 수준의 정확도가 필요한 작업의 경우, MA/BA 6 (옵션) 에는 디플렉터 (디플렉터) 가 장착되어 있어 노출 빔을 매우 세밀하게 조정할 수 있습니다. KARL SUSS/MICROTEC MA/BA 6에는 광범위한 호환 액세서리도 있어 사용자가 자산을 더욱 사용자 정의할 수 있습니다. 전반적으로 MICROTEC MA/BA 6은 고급 자동 웨이퍼 스테퍼/마스크 정렬기로, 정렬 및 노출 프로세스의 정확성과 반복성을 최적화합니다. 이 제품의 기능과 호환 액세서리 (Compatible Accessory) 를 사용하면 특정 구성 요구에 맞게 모델을 사용자 정의할 수 있습니다.