판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 8 #293587271

KARL SUSS/MICROTEC MA 8은 서브 미크론 범위에서 집적 회로 생산을위한 완전 자동화 된 광석기 마스크 정렬 자입니다. 다양한 프로세스 요구 사항에 맞게 다양한 비스듬하고 대각선 정렬기, UBM (UBM) 및 Aspheric (Aspheric) 미러, 광범위한 단계 자동화 수준을 지원하는 매우 정밀하고 모듈식 머신입니다. 여기에는 배치 및 단일 웨이퍼 처리, 샘플 구조의 고해상도 측정이 모두 포함됩니다. MICROTEC MA8의 주요 구성 요소에는 X-Y 단계, 웨이퍼 척, 샘플 홀더 및 레티클 척이 포함됩니다. X-Y 스테이지는 2 개의 정밀 장치를 사용하여 정밀 정렬을 위해 샘플 이동을 가능하게하며, 이는 서브 미크론 해상도를 제공합니다. 웨이퍼 척 (wafer chucks) 은 최대 3mm 두께의 얇은 샘플을 보유하며, 샘플 홀더는 현미경을 기준으로 배치합니다. 그것 은 현미경 아래 위치 를 유지 하고 있으며, "마이크로프로세서 '는 일련의" 프로그램' 된 계열 을 통하여 "웨이퍼 '의 운동 을 조절 한다. 레티클 척 (reticle chuck) 은 노출 된 마스크를 웨이퍼 위에 배치하고 있으며, 그 움직임은 마이크로 프로세서 (microprocessor) 에 의해 제어됩니다. KARL SUSS MA-8의 다른 기능으로는 고급 포커스 서보 시스템 (advanced focus servo system) 이 있으며, 스테퍼 모터 정렬을 제공하며 샘플 크기와 모양을 식별하는 자동 에지 검출이 있습니다. 정밀도 정렬을 통해 샘플을 정확하게 배치할 수 있으며, 고주파 XY 선형 (High-Frequency XY Linear) 단계를 매우 세밀하게 정렬하고 배치할 수 있습니다. 이 시스템에는 진공 센서도 있습니다. 진공 센서는 노출 과정을 제어하는 데 사용됩니다. 최대 생산성을 위해 MICROTEC MA 8은 공압 속도 제어 및 UBM 정렬을위한 감광 소재의 자동 점/스팬을 제공합니다. 이 기계는 또한 다양한 아크 램프, X-ray 소스 및 레이저를 포함한 여러 노출 소스를 갖추고 있습니다. 이를 통해 생산 프로세스를 완전히 자동화할 수 있으며, 칩이 안정적으로 정렬되고 노출되도록 합니다. 결론적으로, MA8은 다목적, 고정밀 마스크 정렬기로, 서브 미크론 범위에서 회로 생산에 완벽한 솔루션입니다. 모듈식 디자인과 다양한 자동 (automated) 기능을 통해 고정밀도 (high precision focus) 와 정렬 (alignment) 을 통해 한 층 또는 여러 계층에 정확하게 노출할 수 있습니다. 이 "머신 '은 여러 가지 장점 을 가지고 있어서, 최고 의 품질 과 생산성 원 생산 을 제공 할 수 있다.