판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 8 Gen 2 #293810576

ID: 293810576
Mask aligner.
KARL SUSS/MICROTEC MA 8 Gen 2는 마스크 정렬 기이며, 일반적으로 반도체 산업에서 다이 사이즈 회로 패턴을 만드는 데 사용됩니다. 기계는 6 인치에서 8 인치 까지의 둥근 마스크 또는 정사각형 마스크를 사용하여 회로를 패턴화한 다음 웨이퍼 또는 기판으로 이동합니다. 이 마스크 정렬기 (Mask Aligner) 는 마스크가 10 미크론 이내의 웨이퍼에 정렬되면서 높은 수준의 정확도를 갖습니다. 즉, 회로 패턴을 매우 정밀하게 재생할 수 있습니다. MICROTEC MA 8 Gen 2는 3 개 언어, 직렬 통신 기반 제어 장비를 사용하여 특정 요구 사항에 맞게 기계를 조정할 수 있습니다. 사용이 편리한 인터페이스는 키보드, 마우스, 모니터 또는 표준 산업용 PC를 통해 신속하게 설치, 진단, 시스템 유지 보수에 적합합니다. KARL SUSS MA 8/GEN 2에는 스테퍼 레지스트 및 드라이 에치 정렬 (dry etch alignment) 과 같은 고급 이미징 및 패턴 기술 및 뛰어난 교정 및 표준 및 사용자 정의 인식 도량에 의존하여 복잡한 photomask 오버레이 정렬을위한 이중 파장 레이저-광학 정렬 장치가 장착되어 있습니다. 이 기계에는 다양한 칩 생산 요구를위한 스텝 앤 리피트 머신 (step-and-repeat machine) 과 정밀 압력 및 온도 관리를위한 정밀 깊이/초점 평가 및 서보 제어 시스템 (servo control system) 이 포함되어 있습니다. 이 마스크 정렬기는 또한 3 인치 ~ 8 인치 (75mm - 200mm) 의 웨이퍼 및 두꺼운 기판을 포함하여 다양한 기판을 수용 할 수있는 독특한 처리 창을 제공합니다. KARL SUSS MA 8 Gen 2는 또한 두꺼운 필름을 개발하거나 에칭하기위한 고압 8BAR 기능의 폐쇄 선박 프로세스와 고급 멀티 레이어 스태킹 또는 트렌치 프로세스를위한 자외선 오존 기반 클리닝 도구 (옵션) 를 갖추고 있습니다. 결론적으로, MA 8/GEN 2는 산업용 디자인 내에서 다양한 패턴화 및 이미징 기능을 제공하는 기능이있는 마스크 정렬기입니다. 고급 기술과 결합된 사용자 친화적 제어 인터페이스 (user-friendly control interface) 는 가장 복잡한 칩 생산 프로세스에도 안정적인 정밀도를 제공합니다.
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