판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 8 Gen 2 #293609268

KARL SUSS / MICROTEC MA 8 Gen 2
ID: 293609268
Mask aligner.
KARL SUSS/MICROTEC MA 8 Gen 2는 반도체 광 마스크 제작에 사용되는 자동 마스크 정렬 자입니다. 마스크 정렬기는 더 큰 마스크 크기에 적합하며, 고해상도 및 기판 다양성을 제공합니다. 콘택트 노출 (Contact Exposure) 및 투영 인쇄 (Projection Printing) 를 사용하여 디자인 된 포토마스크를 사용하여 에치 패턴을 정확하게 정렬하는 2 단계 프로세스입니다. 이것은 모두 완전히 자동화 된 일련의 신중하게 조정 된 단계에 의해 수행됩니다. 이 장비에는 정밀 스캐닝 헤드 (scanning head) 어셈블리와 고급 소프트웨어 제어가 장착되어 있습니다. 스캐닝 헤드는 임베디드 센서와 제어 장치에 프로그래밍되는 알고리즘을 통해 기판 세부 정보 (예: 트렌치 너비, 곡률, 초점 등) 를 얻습니다. 그 후, 스캐닝 헤드 (scanning head) 는 photomask의 의도 된 위치를 레이저 및 광학 시스템을 통해 기판으로 변환합니다. 이는 기존의 Contact-Exposure 시스템보다 훨씬 높은 해상도와 정확도를 제공합니다. MICROTEC MA 8 Gen 2에는 4 ", 5", 6 ", 8" 및 12 "의 5 가지 기판 침대 크기가 있습니다. 이곳에는 75 äm에서 300 äm 사이의 프로젝션 인쇄 영역이 있으며, 해상도는 최대 3mm입니다. 이 장치는 여러 웨이퍼 플레이트 (wafer plate) 디자인과 크기를 제공하며, 이를 통해 사용자는 여러 기판 유형을 수용할 수 있습니다. KARL SUSS MA 8/GEN 2에는 마스크 정렬 자 이외의 많은 기능이 있습니다. 이 제품은 건강과 안전을 염두에 두고 설계되었으며, 개방형 (open) 아키텍처를 다른 자동화된 시스템에 쉽게 통합할 수 있습니다. 또한 자동 클리닝 (cleaning) 및 교정 주기 (calibration cycle) 를 통해 안정성과 성능을 극대화할 수 있습니다. 즉, 따르기 쉬운 명령과 잠금 메커니즘은 기계 전체에서 마스크를 효율적으로 전송하는 데 도움이 됩니다. 또한 MA 8/GEN 2 는 Windows 및 Linux 시스템과 모두 호환되므로 기존 제품 또는 테스트 환경에 쉽게 통합할 수 있습니다. KARL SUSS MA 8 Gen 2는 접촉 및 포토 마스크 생산에 이상적인 선택입니다. 고해상도, 기판 가변성 및 자동화는 효율적이고, 효과적이며, 정확한 마스크 처리를 제공합니다. 개방형 아키텍처 (open architecture) 와 기존 시스템과의 호환성을 통해 많은 반도체 장치 구성 시나리오에 적합한 솔루션을 선택할 수 있습니다.
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