판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 8 / BA 8 #9171637

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ID: 9171637
빈티지: 2008
Mask aligner 2008 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC MA 8/BA 8 Mask Aligner는 photomask 제작에 사용되는 컴퓨터 제어 자동 웨이퍼 이미징 및 정렬 장비입니다. 이 시스템은 마이크로 패브라이션 프로세스에서 중요한 도구이며, 초점 깊이와 정확한 웨이퍼-투-마스크 정렬을 제어하면서 두 개의 다른 기판을 정확하게 정렬하는 데 사용됩니다. MICROTEC MA8/BA8은 호스트 PC가있는 강력한 컨트롤러로 구성됩니다. 3 차원으로 움직이는 아날로그 스캐너; 고해상도 광학 카메라 이미저; 매우 정밀한 정렬 헤드; 그리고 필터링 단위. 또한 두 개의 표준 광원, 수은 아크 램프 및 크세논 아크 램프가 포함되어 있습니다. 수동 또는 컴퓨터 조정 가능한 백라이트와 수동/컴퓨터 조정 가능한 Z 스테이지 머신이 장착되어 있습니다. 정렬 헤드는 공구의 가장 중요한 컴포넌트입니다. 이 옵션을 사용하면 마스크의 정확한 위치와 이미징 웨이퍼를 설정할 수 있습니다. 마스크 및 웨이퍼가 정렬되면 확대/축소 회전 (zoom rotation) 기능은 등록이 완벽하게 수행되도록 합니다. 그런 다음 광학 이미징 카메라 (Optical Imaging Camera) 는 마스크 세부 (Masked Details) 의 깊이를 측정하여 정렬의 정확도를 높이고 지형 데이터를 캡처합니다. KARL SUSS MA8/BA8은 고유한 트리플 노출 프로세스를 사용하여 완벽한 정렬을 만듭니다. 첫 번째 노출은 명목 좌표가 겹치고 정렬되는 것으로 구성됩니다. 두 번째 노출은 좌표를 대체하고, 세 번째 노출은 정확한 좌표와 일치합니다. 이 매우 정밀한 이미징 및 정렬 에셋은 강력한 호스트 컴퓨터와 결합하여 이미지를 처리하고 포토마스크 (photomask) 제작을 위한 포괄적인 패턴 파일을 생성합니다. 또한이 모델에는 KARL SUSS MA8/BA8의 정밀도와 속도를 극대화하는 정교한 소프트웨어가 있습니다. 여기에는 마스크 데이터 입력, 처리 이미지, 기존 소프트웨어에 대한 링크 등의 사용자에게 친숙한 기능이 포함됩니다. 또한 종합적인 레이아웃 편집기와 품질 보증을위한 마스크 검사 프로그램을 제공합니다. 전반적으로 MA 8/BA 8 Mask Aligner는 광전자 장치 생산 및 복잡한 microfabrication 프로세스에 이상적인 솔루션입니다. 강력한 컨트롤러, 정밀한 이미징/정렬 장비, 정교한 소프트웨어 등으로 효율적이고 경제적인 생산을 촉진할 수 있습니다.
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