판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 8 / BA 8 #293590393

KARL SUSS/MICROTEC MA 8/BA 8은 매우 정확한 포토 리토 그래피 응용 프로그램을 위해 설계된 정밀 마스크 정렬 자입니다. 그것 은 여러 가지 재료 로 만든 "웨이퍼 '에 대하여 섬세 한" 마이크로' 구조 를 정렬 하고 무늬 짓기 위해 사용 된다. MICROTEC MA8/BA8은 2 개의 모터, 전동 프레스 및 2 개의 현미경 객관식 렌즈의 조합을 통해 달성 된 서브 미크론 수준의 피드백 정확도를 가진 매우 정확한 정렬 장비를 갖추고 있습니다. 전동 프레스는 마스크/마스크 홀더와 웨이퍼/홀더 사이에 제어 된 압력을 제공하며, 최대 압력 힘은 3.2 킬로입니다. 이것은 정확하고 반복 가능한 노출을 보장합니다. 현미경 오브젝티브 렌즈 (microscope objective lenses) 는 웨이퍼에 패턴 마스크를 정확하게 정렬하고 노출 할 수 있습니다. 기계의 공구 크기는 8 인치, 최대 웨이퍼 크기는 8 인치, 최대 패턴 노출은 4 미크론입니다. 적절한 옵틱을 사용할 때 서브 미크론 해상도 패턴을 달성 할 수 있습니다. 전체 노출 프로세스는 고급 소프트웨어 시스템 (System of Software) 에 의해 완전히 자동화되고 제어됩니다. 소프트웨어는 photolithography 관리 프로세스를 단순화하도록 설계되었습니다. 사용자는 노출 시간, 정렬, 초점, 압력 등과 같은 매개변수를 제어할 수 있는 직관적인 플랫폼을 제공합니다. 사용자는 소프트웨어 인터페이스를 사용하여 신속하게 실험을 설정하고 실행하고, 노출 설정을 수정하고, 보고서를 생성할 수 있습니다. KARL SUSS MA8/BA8에는 고급 안전 기능도 장착되어 있습니다. "리토그래피 '공정 중 에 생산 되는 해로운 입자 들 을 제거 하는 것 은" 캐비닛' 안 에 배기 장치 가 내장 되어 있다. 또한, UV 방사선에 노출되지 않도록 사용자를 보호하는 2 개의 내장 안전 셔터가 있습니다. 또한, 긴급 정지 (Emergency Stop) 버튼을 사용하여 응급 상황의 경우 노출을 신속하게 막을 수 있습니다. 전반적으로 KARL SUSS MA8/BA8은 고품질 서브 미콘 패턴을 생산하기위한 훌륭한 장치입니다. 정확한 정렬 장치 (alignment machine) 와 자동화된 소프트웨어 (automated software) 는 다양한 작업에 이상적인 마스크 정렬기로 사용됩니다.