판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 8 / BA 8 Gen3 #293814073
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KARL SUSS/MICROTEC MA 8/BA 8 Gen3은 웨이퍼 및 평면 패널 생산에 사용되는 고급 마스크 정렬 자입니다. 전동 회전 단계 (Motorized Rotation Stage) 와 자동 정밀 정렬 시스템 (Automated Precision Alignment System) 을 표준 기능으로 포함하는 통합 장비입니다. 이 시스템은 높은 처리량을 유지하면서 뛰어난 정렬 정확도와 반복 (repeatability) 을 수행하도록 최적화되었습니다. MICROTEC MA8BA8-GEN3은 특정 응용 프로그램의 장치를 구성하는 다양한 옵션을 제공합니다. 기계는 정밀 단계, 접촉 정렬기, 2 개의 척 및 2 개의 정렬 목표로 구성됩니다. 정밀도 (precision stage) 를 사용하면 웨이퍼 (wafer) 나 플랫 패널 (flat panel) 을 공구 안으로 정확하게 자유롭게 이동할 수 있고, 전동식 회전 테이블로 웨이퍼 (wafer) 또는 플랫 패널 (flat panel) 을 정확하고 반복적으로 정렬할 수 있습니다. 컨택트 정렬자 (Contact Aligner) 는 두 개의 HD 이미징 채널을 포함하는 척 (chuck) 과 정렬 목표 (Alignment Objectives) 를 병렬로 작동하고 동기화하여 높은 처리량에서 뛰어난 정확도와 안정성을 달성합니다. 척 (chuck) 은 웨이퍼 (wafer) 또는 플랫 (flat) 패널을 위해 균일하고 단단한 플랫폼을 제공하며, 웨퍼 (wafer) 또는 플랫 (flat) 패널이 전기 기계 및 공압 구성 요소에 의해 제대로 고정되도록 조절 가능한 접촉력을 가지고 있습니다. 정밀도 단계 (precision stage), 접촉 정렬기 (contact aligner) 및 척 (chucks) 을 조합하여 에셋을 사용하여 서브 미크론 정렬 정확도와 반복성을 달성하며, 동시에 최대 4 개의 위치를 조합하여 정확하고 빠르게 정렬할 수 있습니다. 또한 최대 720 ° 의 회전을 허용하여 유연성을 높입니다. 이 모델에는 석영, 유리, 결정 물질, 도자기 등 여러 유형의 기판을 처리 할 수 있습니다. 두 가지 목표는 근적외선, 가시적 및 자외선 스펙트럼에서 고해상도 이미징을 가능하게합니다. KARL SUSS MA 8/BA 8 GEN 3은 고급 웨이퍼 및 평면 패널 생산을위한 매우 귀중한 도구입니다. 높은 처리량을 유지하면서 탁월한 정밀도 (precision) 와 반복성 (repeatability) 을 제공하며, 특정 애플리케이션에 적합한 광범위한 옵션을 제공합니다.
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