판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 8 / BA 8 Gen3 #293633676

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ID: 293633676
빈티지: 2014
Mask aligner Process: Litho 2014 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC MA 8/BA 8 Gen3 마스크 aligner는 집적 회로 및 기타 마이크로 일렉트로닉 구조를 제작하는 데 사용되는 고급 광석판 장치입니다. 이 마스크 정렬 기 (Mask Aligner) 는 현대 사진 해설법 응용 프로그램의 요구를 충족시키기 위해 낮은 입자 방출, 높은 생산성, 신뢰할 수있는 작동을 특징으로합니다. MICROTEC MA8BA8-GEN3 마스크 정렬기에는 고해상도 반자동 선형 스테이지가 장착되어 있어 수동 조정 없이 정밀한 정렬이 가능합니다. 또한 다양한 기판을 수용 할 수있는 큰 기계 공간 (190mm x 290mm) 이 있습니다. MICROTEC 마스크 정렬기는 수명이 긴 램프, 조정 가능한 초점 및 노출 시간, 노출 정확도 0.25äm로 설계되었습니다. "얼라이너 '의 광학 장치 는 극히 정확 한" 패턴' 등록 을 위해 최대 2 "마이크로 '의 고해상도 를 지닌다. KARL SUSS MA 8/BA 8 GEN 3 마스크 정렬기는 직관적인 소프트웨어 제어 정렬 시스템을 제공하여 간단한 일괄 처리 대 레시피 변환 및 간편한 원격 정렬 조정을 제공합니다. 이 정렬자에는 전통적인 단일 단계, 이중 단계 및 서브 미크론 노출 기능을위한 3 가지 노출 모드와 뛰어난 노출 정확도 및 반복 가능성을 가진 노출 제어 (Exposure Control) 가 포함됩니다. MICROTEC MA 8/BA 8 GEN 3 마스크 정렬기에는 최대 8 개의 다양한 직경 (8 인치 미만) 의 웨이퍼를 처리 할 수있는 자동 웨이퍼 처리 장치가 장착되어 있습니다. 자동 기계는 생산성을 높이기 위해 한 번에 10 개의 마스크 조각을 처리 할 수도 있습니다. 이러한 기능을 함께 사용하면 빠르고 정확한 photolithography 결과를 얻을 수 있습니다. 마지막으로, 신뢰성을 높이고 마모를 줄이기 위해 MA 8/BA 8 Gen3 마스크 정렬기에는 유지 보수 추적 장치가 장착되어 있습니다. 이 툴을 사용하면 구성 요소를 모니터링하고, 성능을 측정하고, 사전 예방적인 유지 관리 작업을 확인할 수 있습니다. 이 유지 보수 추적 자산 (Maintenance Tracking Asset) 은 마스크 조정기가 최대 효율로 실행되므로 안정적인 작동과 우수한 결과를 보장합니다.
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