판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 8 / BA 8 Gen 2 #9352165
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ID: 9352165
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2007
Mask aligner, 8"
Top and backside alignment
Splitfield microscope
UV 400 Exposure optics
Wavelength range: 365-405 nm
Lamp house: 1000 W
CIC1200 Lamp power supply
BSA Chuck
Mask holder
Operations manual
Documentation
Operation modes:
Hard contact
Soft contact
Vacuum contact
Proximity
Ellipsoidal mirror has been replaced
UV Bulb has been replaced
Cold light mirror
Front turning mirror
Front lens
Shutter cylinders has been replaced
Mirror house cylinder has been replaced
Microscope illumination bulbs has been replaced
Microscope assembly
Optical microscope alignment
WEC Head
Pneumatic regulators
Cover
Isolation table:
Air bag
Air line
Wheels
Leveling feet
Power supply: 200-240 V, 50/60 Hz
2007 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC MA 8/BA 8 Gen 2는 photolithographic 프로세스에 사용되는 반자동 마스크 정렬 자입니다. 이 마스크 정렬 (mask aligner) 은 포토 마스크 및 웨이퍼 기판을 처리하여 높은 수준의 정확도와 정밀도를 가진 장치를 만드는 데 사용됩니다. Gen 2에는 반도체 장치를 에칭 및 제작 할 때 더 빠른 속도, 정확도, 신뢰성을 제공하는 다양한 기능이 있습니다. MICROTEC MA 8/BA 8 Gen 2는 최신 광학 기술과 자동화된 정밀 정렬을 사용하여 정확한 소규모 패턴화를 수행합니다. 마스크 정렬기는 조정 가능한 마스크 배치 필드 (Adjustable Mask Placement Field), 마스크 전송 및 정렬을 위한 스테퍼 모터 드라이브 시스템 (Stepper Motor Drive System for Mask Transport and Alignment), 고밀도 마스크 포지셔닝 시스템 (High Precision Mask Position System) 등의 기능을 통해 사용자의 요구에 맞게 구성할 수 있습니다. 또한, 고급 온도 조절 기술은 일관된 증착 및 패턴 결과를 보장합니다. 정확성을 보장하기 위해 KARL SUSS MA 8/BA 8 GEN2는 최대 +/- 20 nm의 정확도로 서브 미크론 해상도를 할 수 있습니다. "얼라이너 '는 지름 이 8" 인치' 에 이르는 것 을 포함 하여 여러 가지 기판 들 을 처리 하도록 "얼라이너 '를 구성 할 수 있다. 또한, 이 시스템은 유연한 아키텍처 (Flexible Architecture) 를 통해 다양한 애플리케이션 및 프로세스 요구 사항을 충족하도록 설정을 사용자 정의할 수 있습니다. KARL SUSS/MICROTEC MA 8/BA 8 GEN2는 집적 회로, 트랜지스터 및 메모리 칩과 같은 다양한 반도체 장치를 제작하는 데 적합합니다. 또한 소프트웨어 패키지를 통해 종합적인 데이터 로깅 (data logging) 및 분석 (analysis) 을 수행할 수 있으며, 사용자는 시스템 성능을 쉽게 모니터링할 수 있습니다. KARL SUSS MA 8/BA 8 Gen 2는 처리량 및 소규모 사진 해설의 정확성 향상을 위해 설계된 안정적이고 효율적인 마스크 정렬기입니다. 고급 옵틱과 정밀한 정렬 기능을 갖춘 Gen 2는 높은 품질의 결과를 보장합니다. 커스터마이징 가능한 옵션으로, 모든 반도체 제작 어플리케이션을위한 완벽한 산업 도구입니다.
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