판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 8 / BA 6 #9262949

KARL SUSS/MICROTEC MA 8/BA 6 Mask Aligner는 마스크 제작을위한 다용도 자동 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 장비는 특허받은 광 정렬 알고리즘 (optical alignment algorithm) 과 이중 CCD 정렬 시스템 (double CCD alignment system) 을 사용하여 웨이퍼와 마스크를 정확하게 정렬합니다. MICROTEC MA-8/BA6은 넓은 시야와 고품질 옵틱을 특징으로하여 최대 6 유로의 정확한 정렬을 보장합니다. 서피스 비평면성을 포함한 웨이퍼/마스크 오열은 교정할 수 있습니다. 2 인치 ~ 8 인치 웨이퍼를 수용 할 수 있으며 0.5äm 범위까지 노출 할 수 있으므로 고해상도 마스크 제작에 적합합니다. 이 장치에는 또한 전동 XY 및 Z축 기능이 있으며, 이는 뛰어난 패턴 배치 정확도와 정렬 재생성을 가능하게합니다. 또한 레이저 정렬로 인한 마스크 또는 웨이퍼가 손상되지 않도록 다이오드 보호 (diode protection) 를 제공합니다. 이 기능을 사용하면 사용자가 노출 전에 마스크 위치를 정확하게 조정할 수 있으므로, 정렬 프로세스 (Alignment Process) 의 정확도와 정밀도가 우수합니다. 또한, KARL SUSS MA-8/BA-6은 소형 설치 공간을 특징으로하며 뛰어난 노출 제어 및 반복 성을 위해 강력한 자동 오픈 루프 제어 머신을 갖추고 있습니다. 증기 각도 (steam angle) 또는 레티클 패턴 크기 (reticle pattern size) 및 용량의 실시간 모니터링 (real-time monitor) 과 같은 혁신적인 노출 매개변수는 노출 중에 조정 및 모니터링할 수 있습니다. MA 8/BA 6 은 낮은 전력 소비량과 자동 유지 관리 요구 사항으로 인해 낮은 TCO 를 자랑합니다. 또한 [마스크 정렬기] 는 직관적인 그래픽 메뉴와 함께 향상된 사용자 인터페이스를 통해 빠르고 문제 없는 작업을 수행할 수 있습니다. 내장형 고속 이더넷 포트 (Embedded High-speed Ethernet Port) 는 네트워크 연결을 용이하게 하며 원격 유지 보수 및 지원을 허용합니다. 이 기능은 안전한 실시간 연결을 보장하면서 원격 작업 및 유지 관리를 용이하게 합니다. 전반적으로 KARL SUSS MA 8/BA 6 Mask Aligner는 정확하고 효율적인 마스크 제작을 위해 설계된 안정적이고 정확한 자동 마스크 정렬기입니다. 탁월한 성능, 기능, 유연성을 제공합니다. 따라서 고객은 비용 및 노력을 최소화하면서 고성능 마스크 (고성능 마스크) 를 제공할 수 있습니다.