판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 #9286934

KARL SUSS/MICROTEC MA 6은 사진 해설을위한 완전 자동화 된 고정밀 접촉 유형 정렬 장비입니다. 반도체 처리를 위해 설계되었으며, 서브 미크론 정확도로 웨이퍼 레벨 마스크 레이어를 정렬하고 패턴화하는 데 사용할 수 있습니다. 이 시스템에는 정확한 위치 지정 및 측정을 위한 최첨단 XYZ 정렬 단계가 있습니다. MICROTEC MA6에는 결함 검사를 위해 25 배의 시각적 현미경이 제공되며, 마스크 및 웨이퍼 정렬을 위해 최대 700 배의 시야가 있으며, 마스크 로딩을위한 2 개의 독립적 인 12 스테이션 매거진 시스템이 있습니다. 현미경은 정렬, 공정 검사, 표면 도량형 및 웨이퍼 도량형에 사용될 수 있습니다. KARL SUSS MA-6은 웨이퍼에 대한 마스크의 정확한 위치를 확인하고 정확히 파악하기 위해 3 개의 큐브 코너 반사경이있는 직접 뷰 이미징 (direct view imaging) 을 가지고 있습니다. 스캐닝 전자 빔 이미징, i-line 노출 및 메모리 기반 데이터 관리를 사용하여 자세한 프로세스 정보를 저장할 수 있습니다. 이 장치는 완전히 자동화되었으며, 주 제어 소프트웨어는 최대 55 개의 프로세스 단계를 제어 할 수 있습니다. 기본 KARL SUSS/MICROTEC MA-6 기계에는 2 세트의 마스크 정렬 단계, 도우퍼 샘플 단계, 마스크 정렬 센서 및 광원, 전용 마스크 정렬 소프트웨어 및 정렬 감지 하위 시스템이 포함됩니다. 내장 도량형 하위 시스템을 사용하면 웨이퍼 마스크 정렬을 정확하게 측정 할 수 있습니다. 또한 사용자 친화적 인 그래픽 인터페이스 (Graphic Interface) 와 다양한 추가 자동화 및 엔지니어링 옵션이 있습니다. MICROTEC MA 6 도구는 photomask 제작, MEMS 제작, 3D 집적 회로 및 microfluidic 장치 제조를 포함한 다양한 반도체 기술에 사용됩니다. 빠른 프로토 타입, 소규모 생산 (small-scale production run) 및 대량 생산에서 높은 수율을 달성하기 위해 사용할 수 있습니다. 자산의 정확성과 속도는 다양한 반도체 처리 (semiconductor processing) 요구에 이상적인 선택이 됩니다.