판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 #9281940

KARL SUSS/MICROTEC MA 6은 마이크로 전자 및 반도체 생산에서 광 마스크 제조 및 정렬에 사용되는 마스크 정렬 자입니다. 정렬 (aligner) 은 포토 마스크 (photomask) 의 피쳐를 기판 또는 웨이퍼에 정렬하고 전송하는 데 사용되는 완전 자동화된 기계로, 거의 완벽한 정렬을 보장합니다. 고급 기계는 레이저 간섭계 (laser interferometer) 기반 도량형을 특징으로하며, 이는 전송 및 정렬 과정에서 놀라운 정확성을 가능하게합니다. MICROTEC MA6은 고정밀 전동 단계, 진공 진공 척, 도량형 카메라 및 투영 장비의 여러 구성 요소로 구성됩니다. KARL SUSS MA-6의 전동 무대는 0.5 미크론의 정밀 이동이 가능하며, 진동 방지 서스펜션 시스템 (anti-vbration suspension system) 이 특징이며, 진공 척은 흡입을 통해 웨이퍼를 확보합니다. 도량형 "카메라 '는" 마스크' 와 "웨이퍼 '사이 의 오차 를 측정 하는 데 사용 되고 투영 장치 는" 마스크' 에서 "웨이퍼 '로 패턴 을 전달 하는 데 사용 된다. MA 6은 300 나노 미터의 정확도로 모든 포토 마스크를 제작 할 수 있습니다. 또한, 정교한 패턴 인식 (pattern recognition) 기술을 통해 기계는 가장 복잡한 패턴조차도 쉽게 식별하고 복제 할 수 있습니다. 이 기술은 KARL SUSS/MICROTEC MA6의 고급 투영 도구와 함께 마스크 (mask) 와 웨이퍼 (wafer) 사이에서 최대 ± 0.1 미크론 (micron) 사이의 패턴을 매우 정확하게 정렬하고 전달합니다. KARL SUSS MA6은 또한 자동 기준점 인식 (reference point recognition) 을 특징으로하여 가장 어려운 경우에도 완벽하게 정렬됩니다. 또한, 최대 1000 개의 레시피를 저장할 수 있으며, 여러 프로세스 작업을 신속하게 설치, 운영할 수 있습니다. KARL SUSS MA 6에는 또한 작은 미세 구조의 고정밀 정렬 및 조작을위한 마이크로 조작기 (옵션) 가 있습니다. MA-6 (MA-6) 은 고품질 집적회로 생산을 위해 반도체 업계에서 널리 사용되는 고급 도구다. 놀라운 정확성과 정교한 패턴 인식 때문에 KARL SUSS/MICROTEC MA-6은 포토 마스크 제작의 업계 표준이 된 필수 도구입니다.