판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 #9257127

ID: 9257127
Mask aligner Backside chuck, 3" (BSA).
MICROTEC/Micromask KARL SUSS/MICROTEC MA 6은 정밀 석판 처리 단계에서 포토 마스크 및 다양한 기질의 노출을위한 최첨단 정밀 마스크 정렬 자입니다. 이것 은 "트랜지스터 '," 레지스터' 및 "커패시터 '와 같은 집적 회로 부품 을 제조 하는 실험실 및 산업 응용 분야 에 사용 하는 데 이상적 이다. 마이크로 텍 MA6 (MICROTEC MA6) 은 광석기 학적 노출 과정에서 정확성과 다재다능성을 보장하는 미세 조정, 자동화 된 시스템을 사용하여 작동합니다. 중대형 집적 회로 (IC) 설계 및 제작에 적합한 6 인치 스퀘어 프로그래밍 가능 노출 영역이 있습니다. 파장 범위 193 ~ 248 nm 이상의 UV 램프를 장착하여 광범위한 재료에 노출 할 수 있습니다. KARL SUSS MA-6 의 설계 를 통해 "마스크 '를 노출 된 장치 나 기판 위 에 정확 하고 반복 하여 정렬 할 수 있다. 이 정밀도는 마이크로 및 매크로 스코프 정렬, 자동 초점 시스템, 통합 비전 시스템 등 몇 가지 혁신적인 메커니즘으로 가능합니다. 이러한 메커니즘은 노출 과정에서 원하는 설계 (design) 를 기판에 정확하게 정렬하고 원하는 노출 결과를 일관되게 달성하도록 합니다. MA6은 또한 리프트 오프 및 2 광자 직접 노출과 같은 여러 가지 노출 옵션을 제공합니다. 2 광자 직접 노출 방법 (two-photon direct exposure method) 은 큰 사진 마스크 및/또는 소형 기판을 접촉 인쇄가 필요 없이 노출시킬 수 있기 때문에 고해상도 패턴에 적합합니다. KARL SUSS/MICROTEC MA-6은 또한 깊은 자외선 (DUV) 및 초고 에너지 (UHE) 조사가 가능합니다. 또한, MICROTEC MA 6 (MICROTEC MA 6) 은 다양한 화학 및 두께의 포토 esist와 호환되며, 특정 장치 또는 기판에 대한 정확한 노출 요구 사항과 관련하여 사용자에게 완전한 유연성을 제공합니다. 요약하면, MA-6은 안정적이고 사용자에게 친숙한 고급 마스크 정렬 도구입니다. 정밀 정렬 및 노출 기능, 정교한 자동 시스템 (automated systems) 은 물론, 모든 정밀 리소그래피 (lithography) 요구에 이상적인 도구입니다.
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