판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 #9250075

KARL SUSS / MICROTEC MA 6
ID: 9250075
웨이퍼 크기: 6"
Mask aligner, 6".
KARL SUSS/MICROTEC MA 6은 매우 정밀한 컴퓨터 제어 마스크 정렬 자입니다. 이 장치 는 광선 "패턴 '을" 실리콘 웨이퍼' 와 같은 기판 으로 옮기는 데 사용 되며, 기타 "마이크로패브레이션 '을 위한 박막 을 사용 한다. 이 장치는 6 메가 픽셀 카메라 (6 메가 픽셀 카메라) 와 매우 정확한 스테핑 모터 (steping motor) 를 사용하여 패턴을 원래 마스크에서 기판으로 정확하게 정렬하고 전달합니다. 이 장치에는 22mm x 22mm 시야와 최대 10 마이크로 미터의 이미지 해상도가 있습니다. 또한, 가변 작업 거리 광학은 4X에서 100X까지의 다양한 확대를 허용합니다. MICROTEC MA6은 4 축 제어 및 0.6A 스테핑 모터를 사용하여 패턴을 정확하게 미세 정렬할 수 있습니다. 이 도구에는 기판 위치를 지정하기 위한 2 단계와 마스크 보유 및 마운트를 위한 2 단계가 포함되어 있습니다. KARL SUSS MA-6은 최대 8mm의 두께로 기판을 처리 할 수 있습니다. 이 장치는 일관된 초점 길이와 균일 한 노출을 보장하기 위해 최적화된 초점 제어 (focus control) 를 갖추고 있습니다. 또한, 장치에는 최적의 결과를 위해 강도와 타이밍을 조정하는 기능 (예: 마스크 자동 노출) 을 허용하는 AEOM 시스템이 장착되어 있습니다. MICROTEC MA-6은 또한 정적 방지 시스템, 비상 전원 차단, 온도 경고 시스템 등 여러 가지 안전 기능을 제공합니다. 이 장치에는 직관적인 사용자 인터페이스 (User Interface) 가 장착되어 있는데, 이 인터페이스는 최소한의 교육으로 작동할 수 있으므로 모든 실험실 환경에서 사용할 수 있습니다. 요약하면, MA-6은 정확하고 반복 가능한 미세 정렬 결과를 제공하는 고급 마스크 정렬기입니다. 다양한 안전 기능 (Safety Features) 을 갖추고 있어 실험실 환경에서 쉽게 사용할 수 있습니다. 이 장치는 마이크로패브라이션 (microfabrication) 애플리케이션에 적합하여 정확도, 속도, 신뢰성의 탁월한 조합을 제공합니다.
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