판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 #9242865

KARL SUSS/MICROTEC MA 6은 리소그래피 분야에서 사용되는 최첨단 마스크 정렬 자입니다. 특유의 고성능 광학 장비와 매우 정밀한 기계식 정렬 시스템 (Mechanical Alignment System) 을 결합하여 처리량 또는 프로세스 신뢰성을 잃지 않고 높은 정확성을 제공합니다. 이 장치는 레이저 직접 영상뿐만 아니라 몰입 석판화 (immersion lithography) 및 소프트 마스크 석판화에도 적합합니다. "와퍼 '와" 레티클' 의 완전 한 자동 정렬 은 정렬 과정 의 정확성 과 반복성 을 보장 해 준다. MICROTEC MA6의 광학 머신은 세 가지 주요 구성 요소 (대형 시야각 카메라, 이미지 회전 도구 및 장거리 현미경) 로 구성됩니다. 카메라는 전체 마스크의 고해상도 (high-resolution) 이미지를 캡처한 다음 이미지 회전 에셋 (image rotation asset) 과 연결하여 기판을 마스크에 정확하게 정렬합니다. 그런 다음 현미경은 서브 미크론 해상도로 작은 관심 영역을 이미지합니다. 광학 모델 (Optical Model) 은 넓은 시야를 제공하여 높은 해상도를 유지하면서 정확한 정렬과 짧은 정렬 시간을 제공합니다. 장비는 또한 전체 오버레이 (overlay) 측정이 가능하여 정렬 매개변수를 세밀하게 조정할 수 있습니다. 기계적 정렬 시스템은 웨이퍼 위치를 정확하게 제어합니다. 이 장치는 고유 한 6 축 정렬 단계를 사용하여 기판을 3 차원으로 정확하게 배치 할 수 있습니다. 동작 범위 (range of motion) 는 마스크와 관련하여 웨이퍼를 정확하게 배치하도록 최적화됩니다. 또한, 기계는 정확한 회전 정렬 및 웨이퍼의 기울기 보정을위한 도브 테일 도구를 통합합니다. KARL SUSS MA-6은 대용량 생산 환경을 위해 설계되었으며, 처리량뿐만 아니라 뛰어난 정렬 정확성을 제공합니다. 자산은 도량형 (Metrology) 및 품질 보증 (Quality Assurance) 애플리케이션에 이상적이며, 레티클 평가 및 프로세스 최적화를 위해 정확한 측정을 제공합니다. 고급 광학 시스템 (Optical System) 과 기계식 시스템 (Mechanical System) 을 결합하면 모든 유형의 응용 프로그램에 대해 빠르고 정확하며 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다.