판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 #9230018

KARL SUSS/MICROTEC MA 6은 웨이퍼 레벨 사진 해설을 위해 설계된 마이크로 일렉트로닉스 마스크 정렬 자입니다. 이 제품은 투영 영상 (projection imaging) 원칙에 따라 작동하는 완전 자동화된 도구입니다. 이 장치는 포토 마스크 (photomask) 의 광학 이미지를 코팅 된 (coated) 또는 코팅 되지 않은 (uncoated) 기판에 정렬하고 노출시켜 기판에서 포토 리토 그래피 패턴을 제조합니다. MICROTEC MA6에는 포토 마스크 처리 및 정렬을위한 기계적으로 제어 된 마스크 단계가 포함되어 있습니다. 또한 x, y 및 z 방향으로 기판을 자동으로 움직이는 웨이퍼 스테이지가 포함됩니다. KARL SUSS MA-6은 스핀 및 선형 접촉 노출로 직경 최대 150mm의 기질을 수용합니다. 마스크 단계에는 마스크 및 기판의 정확한 정렬을 위해 조정 가능한 x, y 및 z 정렬이 있습니다. KARL SUSS MA 6의 최대 해상도는 0.5um (일반적으로 반도체 기술에 사용됨) 이며 최소 기능 크기는 1.0um (디스플레이 및 센서 응용 프로그램에 사용됨) 입니다. 노출 에너지 범위는 0.15 mJ ~ 3.2 mJ이며 정확도는 0.15 mJ입니다. 액체 질소 냉각 빔 스티어링 시스템은 정확한 정렬 및 노출을 가능하게합니다. 이 기기는 저렴한 반 미크론 이하의 이미징을 제공하도록 설계되었습니다. MA6에는 내부 레이어를 표시 할 수있는 선택적 I 라인 머신도 있습니다. 내장 플리퍼는 모든 광 구성 요소를 철저히 청소합니다. 포함된 다중 레이어 장치를 사용하면 하나의 노출만으로 여러 레이어를 생산할 수 있습니다. 프로그래밍 가능한 동적 정렬을 사용하면 정렬 표시를 정확하고 재현할 수 있습니다. 소프트웨어는 적절한 정렬을 위해 원하는 마스크를 기판에 맞춰 정렬합니다. MA 6에는 또한 포토 esist의 드라이-에칭 (dry-etching) 을위한 통합 에칭 및 언더 컷 포토 esist의 제거를위한 습식 에칭 옵션이 포함되어 있습니다. 0.05% 의 정확도로 높은 수준의 반복 가능성을 가지고 있습니다. 또한 웨이퍼 스테이지 (wafer stage) 를 통합하여 수명을 연장하고 고정밀 이미징을 허용합니다. 이 기기는 GUI를 통해 사용하기 쉽고 완벽하게 자동화된 사용자 인터페이스를 제공합니다. 모든 주요 안전 및 배출 표준을 준수하도록 설계되었습니다. 이러한 기능을 통해 KARL SUSS/MICROTEC MA-6은 프로토 타입, 중소량 생산 및 연구 개발에 이상적입니다.